판매용 중고 VEECO / EMCORE E400 #293641832

VEECO/EMCORE E400 원자로 (Chemical Vapor Deposition Equipment라고도 함) 는 고온 및 기타 응용을위한 고품질 폴리 크리스탈린 및 비정질 박막 생산이 가능한 고온, 초고진공 수평 증착 시스템입니다. 유전체 층에서 에칭 된 패턴을 생산하는 반응성 이온 에치 (Reactive Ion Etch) 프로세스와 비정질 층을위한 빠른 열 어닐링 프로세스 (Thermal Annealing Process) 를 갖춘 다기능 장치입니다. VEECO E400에는 20 인치 알루미늄 챔버가있는 4 인치 웨이퍼 척과 증착 소스를위한 다중 축 Kenics 피드 스루가 있습니다. 원자로 내부의 압력은 조절 가능하며, 초고진공 증착 과정에 대한 요구 사항을 충족시킵니다. 원자로에는 기계식 셔터, 회전 샘플 모듈 및 자동 스퍼터링 머신이있는 사전 증착 (pre-deposition) 선택도 포함됩니다. 또한, EMCORE E400 은 청결에 이온 에너지원을 장착하고 증착 및 에치 프로세스 전에 기판을 활성화시킨다. E400 원자로는 Super Conductor 및 기타 고온 재료를 침전하도록 설계되었습니다. 증착원은 최대 400 ° C의 온도에서 작동 할 수 있습니다. VEECO/EMCORE E400 의 설계는 퇴적 온도 (deposition temperature) 가 낮은 매우 얇은 재료 계층을 생성하여 최고의 프로세스 반복성을 보장합니다. 이온 에너지 원 (Ion Energy Source) 은 최대 전류 1-10mA로 최대 3 회 이온 폭격을 제공 할 수 있습니다. VEECO E400은 탁월한 프로세스 제어를 갖춘 초고진공 processDeposition 도구입니다. 폴리 크리스탈린 (poly-crystalline) 과 비정질 (amorphous) 에서 슈퍼 컨덕터 (Super Conductor) 에 이르기까지 다양한 박막 재료를 증착 할 수 있습니다. 자산의 편의성, 반복성, 정확성은 연구 및 상업적 응용에 이상적입니다. EMCORE E400 은 글래스 (glass) 와 쿼츠 (quartz) 를 비롯한 다양한 기판 크기와 재료를 패터닝 및 고온 광학 박막 증착용으로 처리할 수 있습니다. RF 옵션과 자동화된 사전 청소 및 사후 청소 모듈을 추가하여 모델을 더욱 사용자 정의할 수 있습니다.