판매용 중고 VEECO / EMCORE E400 Gold As/P #9155030
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ID: 9155030
MOCVD systems
MO Source line : ( Normal x 7 / Dopant x 2 )
CBr4, DEZn,TESb,TMIn-1,TMIn-2, TMAl,TMGa-1,TMGa-2,IBuGa
Hydride source line: AsH3 x 2 ,PH3 x 2 ,Dopant A x 1,Dopant B x 2,Dopant C x 1
Epison III x 2 for TMIn
Currently de-installed
2000-2001 vintages.
VEECO E400 Gold As/P는 반도체 공학에서 박막 처리 및 증착을위한 고급 원자로입니다. 이 AS/P 원자로는 유기 (organic) 및 무기 (organic) 박막 (thin film) 을 포함한 광범위한 재료에 대해 고성능 및 비용 효율적인 처리를 모두 제공하도록 설계되었습니다. As/P 원자로는 2 단계 프로그래밍 가능한 플랫폼이있는 4 면 석영 튜브입니다. "쿼츠 '관 의 4 면 은 각각 유도" 코일' 에 의해 가열 되어 정밀 한 온도 조절 과 균일 함 이 가능 하다. 플랫폼의 첫 번째 단계는 3 가지 주요 구성 요소 (즉, 바닥 쿼츠 쉴드, 중간 쿼츠 쉴드 및 쿼츠 라이너) 로 구성됩니다. 하단 쿼츠 (bottom quartz) 실드는 유도 코일에 의해 생성 된 열로부터 챔버를 보호하고 절연하는 반면, 중간 쿼츠 (middle quartz) 실드 (shield) 는 라이너를 연료 가스로부터 보호합니다. 쿼츠 라이너 (quartz liner) 는 플랫폼의 두 번째 단계이며, 흑연 퍼니스 전극 (Graphite furnace electrroad) 배열로 구성되며, 각 전선은 전선 세트로 전원 공급 장치에 연결됩니다. 흑연 용광로 전극 (Graphite furnace electrode) 은보다 균일 한 방식으로 얇은 필름을 보다 효율적으로 증착 할 수 있습니다. E400 Gold As/P에는 자동 펄스 생성기 (automated pulse generator) 가 있으며, 박막 증착을 위해 유도 코일에 다양한 온오프 펄스 시퀀스를 제공하기 위해 프로그래밍 될 수 있습니다. 이 기능은 전원 공급 장치의 수동 설정 (manual setting) 을 제거하여 시스템의 효율성과 정확도를 더욱 높입니다. 또한 E400 Gold As/P (Gold As/P) 에는 증착 과정을 관찰하고 모니터링하고 필요한 모든 조정에 대한 실시간 피드백을 제공하기 위해 내장 카메라 시스템이 장착되어 있습니다. E400 Gold As/P는 반도체, 마이크로 일렉트로닉, 화학, 광학 장치 제작 등 다양한 산업의 요구를 충족시키기 위해 설계된 강력하고 다재다능한 시스템입니다. 양질의 박막 (Thin Film) 을 생산할 수 있기 때문에 연구 개발 실험실과 생산 시설 (Production Facility) 에 널리 사용됩니다. 이 기계의 프로그래밍 가능한 플랫폼은 산화물 및 질화물 증착, 금속 필름 증착, LED 제작, MEMS 제작 및 기타 여러 프로세스를 포함한 다양한 응용 프로그램에 사용될 수 있습니다. E400 Gold As/P (Gold As/P) 가 제공하는 향상된 효율성, 정확성 및 품질은 오늘날의 산업 어플리케이션에 이상적인 선택입니다.
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