판매용 중고 VEECO / EMCORE E300 #9265829

VEECO/EMCORE E300 은 화학 증기 증착 응용 및 기타 유형의 epitaxial 증착을 위해 설계된 원자로입니다. 이 원자로는 다양한 화합물에서 다양한 고순도 물질 (high purity materials) 을 생산할 수 있습니다. VEECO E300 원자로는 스테인레스 스틸 (stainless steel) 및 고온을 견딜 수있는 다른 재료로 만들어진 비활성 수평 튜브 형 원자로입니다. 원자로 내부는 외부 공기에서 밀봉되어 오염을 방지합니다. 그것은 물질적 증착을 위해 가열된 감수기 또는 도가니를 가지고 있습니다. 감지기 는 고온 으로 가열 될 수 있다. 또한 독특한 진공 소스가 장착되어 있습니다. 반응 과정을 모니터링하기 위해 스텝 스캐닝 질량 분광계를 이 원자로에 연결할 수 있습니다. EMCORE E300은 갈륨 비소, 인화 인듐, III-V 화합물, 탄화 실리콘 및 유사한 물질과 같은 반도체 제조에 광범위한 용도를 가지고 있습니다. 이러한 재료를 순수한 형태로 생산 할 수있는 저해상도 (low-contamination design) 가 있습니다. E300의 커패시턴스 커플 링 플라즈마 (또는 CCM) 접근법은 증착 과정을 정확하게 제어 할 수 있으며, 유연한 기하학적 구성은 두꺼운 필름을 증착 할 수 있습니다. VEECO/EMCORE E300 은 높은 처리 속도를 제공하여 생산성을 향상시킵니다. 이 설계를 통해 재료 레이어 증가, 서피스 수동화 (surface passivation), 에칭 (etching) 과 같은 프로세스를 최적화 할 수 있습니다. 또한 입자 침식 효과를 제거 할 수 있습니다. 원자로에는 제품의 과열 및 열 파괴를 최소화하기 위해 효율적인 냉각이 포함됩니다. 진단 모니터링 시스템 (Diagnostic Monitoring System) 이 장착되어 있어 증착 과정을 효율적으로 제어할 수 있습니다. 원자로에는 질소 입력이 포함되어 있는데, 이 입력은 증착 중 깨끗하고 비활성 된 환경을 보장합니다. VEECO E300 (VEECO E300) 의 재료 증착과 관련된 매개변수 및 공정에 대한 정확한 제어는 고순도 화합물 제조에 적합하다. 작동 단순성과 정밀성 또한 연구에 적합합니다. 증착 (deposition) 프로세스에 사용되는 모든 매개변수는 실시간으로 조정 및 모니터링할 수 있으므로 품질 제어를 최적화할 수 있습니다.