판매용 중고 VEECO / EMCORE E300 #9265827

VEECO/EMCORE E300 은 다양한 반도체 재료 및 장치 생산에 사용되는 고성능 에피 택시 (epitaxial) 원자로입니다. VEECO E300 은 매우 효율적인 증착 장비로, 광범위한 프로세스에 사용할 수 있습니다. 이 제품은 높은 처리량과 낮은 TCO (소유 비용) 를 달성하도록 최적화된 고급 설계를 갖추고 있습니다. EMCORE E300 은 단일 웨이퍼, 고온 및 저압 화학 증기 증착 원자로입니다. 중앙 챔버 (Central Chamber) 는 하단에 고온 가열 요소가 장착 된 원통형 진공 챔버입니다. E300은 최대 1000 ° C의 온도에 도달 할 수 있으며이 챔버에서 최대 10 Torr의 압력을 가할 수 있습니다. 실리콘, 게르마늄, 갈륨, 비소, 인화 인듐, 카드뮴 텔루 라이드, 셀레 나이드 아연 등을 포함한 다양한 성분의 증착을 위해 설계되었습니다. 중앙 챔버 (Central Chamber) 에는 여러 소스 포트가 장착되어 있어 챔버에 라미나 (Laminar) 의 가스 흐름이 가능하며 웨이퍼 표면에 배치 된 레이어 (Layer) 의 균일 성과 품질이 향상됩니다. 또한 VEECO/EMCORE E300 은 우수한 프로세스 제어를 통해 여러 가스를 동시에 챔버에 펌핑할 수 있는 고성능 멀티 채널 가스 (Multi-Channel Gas Delivery) 시스템을 제공합니다. VEECO E300은 또한 최대 4 인치까지 조정 가능한 웨이퍼-소스 거리로 여러 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 또한 EMCORE E300 은 완벽한 제어 장치 (control precision) 를 갖춘 직관적인 콘솔을 갖추고 있습니다. 이를 통해 사용자는 가스의 처리 반응 온도 (processing reaction temperation) 와 혼합물 (mixture) 을 정확하게 조정하여 뛰어난 장치 성능을 낼 수 있습니다. 또한 E300 은 자동 흐름 제어 시스템 (fast-response PID controller) 을 사용하여 필요에 따라 각 매개변수를 지속적으로 모니터링하고 가스의 흐름 속도를 조정합니다. 전반적으로 VEECO/EMCORE E300 은 탁월한 성능과 신뢰성을 제공하는 탁월한 epitaxial 원자로입니다. 최첨단 반도체 생산 응용프로그램의 요구사항을 충족시키도록 설계되었으며, TCO (총소유비용) 를 낮추면서 성공적인 증착 프로세스를 제공한다.