판매용 중고 VEECO / EMCORE E300 #9265825
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VEECO/EMCORE E300 원자로는 최신 증착 기술 발전을 수용하기 위해 설계된 반도체 공정 강화 시스템입니다. PVD (physical vapor deposition), e-PVD (electron-assisted PVD), PEALD (plasma-enhanced atomic layer deposition) 및 CVD (chemical vapor deposition) 를 포함한 광범위한 프로세스를 지원하는 완전한 통합 모듈식 하드웨어 플랫폼입니다. 모듈 식 하드웨어에는 대량 생산 된 모듈 식 챔버, 다양한 내부 이온 빔 소스 (ion beam source) 및 다양한 고에너지, 고전류 프로세스 소스가 포함됩니다. 또한 안정적이고 고성능 프로세스 제어를 위한 고급 가스 및 프로세스 제어 시스템도 포함되어 있습니다. VEECO E300 원자로는 열 및 e-beam 구동 증착을 지원하며, 현장 모니터 및 최종 필름 제어를 지원합니다. 아키텍처는 프로세스 시작 시간 (start-up time) 과 정확한 현장 프로세스 제어 (in situ process control) 를 동일하게 단축합니다. 전자식 (electronically-active) 필름의 정확한 제어가 장치 성능에 큰 영향을 줄 수있는 고급 (high-end) 디바이스의 제작에 중요합니다. 또한, EMCORE E300 원자로는 저에너지 산소 또는 질소 플라즈마를 기판에 전달하는 기능을 포함하여, 고급 플라즈마 제어 기능을 가지고 있습니다. 이 시스템은 또한 스텝/플래시 리소그래피 및 리프트 오프 (lift-off) 를 수행할 수 있으며 최대 200mm 크기의 기판 및 웨이퍼를 지원합니다. 또한, E300 원자로에는 고해상도, 고해상도 환경 현미경을 포함한 다양한 광학 시야기 기능이 장착되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 박막 형성을 실시간으로 이미징할 수 있으며, 향상된 필름 특성 및/또는 프로세스 모니터링을 구현할 수 있습니다. VEECO/EMCORE E300 은 거의 모든 프로세스 가스와 뛰어난 열 균일성 및 호환성을 제공하여 고품질, 고화질 필름을 생산하는 데 적합합니다. 이러한 모든 요소가 결합되어 VEECO E300 은 고급 박막 프로세스 통합을 위한 최고의 솔루션 중 하나입니다.
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