판매용 중고 VEECO / EMCORE E300 #293744722
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VEECO/EMCORE E300 은 소형, 독립형 전자 빔 증발 원자로로, 반응성 증발, 원격 증착 및 스퍼터링 프로세스에 사용됩니다. 이 원자로는 반도체 및 분석 산업을 위해 설계되었습니다. VEECO E300은 박막 생산을 위해 용량이 큰 고성능 원자로입니다. 고른 재료 증착을 보장하는 독특한 풀 필드 마그네트론 스퍼터링 디자인 (full-field magnetron sputtering design) 을 기반으로합니다. 원자로는 또한 VEECO 특허 QPA Zone ™ 기술을 사용하여 온도, 헬륨 압력 및 전력과 같은 프로세스 조건을 정확하게 제어합니다. 따라서 운영자는 증착 프로세스를 보다 쉽게 모니터링하고 분석할 수 있습니다. EMCORE E300 은 다양한 가공소재를 수용할 수 있는 대형 챔버를 갖추고 있습니다. 그것의 디자인은 표면적의 활용도를 극대화하고 박막 증착의 더 나은 균일 성을 만듭니다. 또한 E300 의 관대 한 작업 공간 (Workspace) 을 통해 가스를 빠르게 변경하고 프로세스 간 신속한 전환을 실현할 수 있습니다. 또한 VEECO/EMCORE E300 은 사용자에게 친숙한 장비를 제공하여 운영자가 프로세스를 손쉽게 모니터링, 조정, 사용자 정의할 수 있도록 합니다. 이 시스템은 VEECO/EMCORE IonBeam ™ Unit, VEECO MassSpec ™ Machine 및 EMCORE Monitor Tool과 같은 다른 EMCORE 시스템과도 통합할 수 있습니다. 이것은 정밀 증착 및 분석을위한 포괄적 인 도구 모음을 만듭니다. 증발 작업을 위해 VEECO E300은 티타니아, 란타넘 산화물, 붕소 산화물 증착과 같은 반응성 박막 성장 과정에 사용될 수 있습니다. 원자로 내부에 위치한 증발 원천 (evaporation source) 은 다양한 유형의 박막 증착 과정에 적응하기 위해 순환 및 해제 될 수있다. 원자로는 또한 빠른 턴어라운드 (turnaround) 및 최적의 프로세스 매개변수를 제공하는 1 버튼 턴키 프로세스를 갖추고 있습니다. EMCORE E300 은 또한 진공 연동, 저소음 방출 등의 혁신적인 안전 기능을 사용합니다. E300 원자로 (Reactor) 는 광범위한 어플리케이션에 대해 정확한 스퍼터링 및 증착 프로세스를 가능하게 하는 강력하고, 사용자에게 친숙한 도구입니다. 자재 적용 효율과 정확한 제어를 통해 반도체· 분석산업에 이상적인 선택이다.
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