판매용 중고 VEECO / EMCORE E300 #293652202
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
VEECO/EMCORE E300은 박막, 이종 구조 또는 박막 장치를 생산하도록 설계된 고도의 CVD (Chemical Vapor Deposition) 원자로입니다. VEECO E300은 III/V 및 Si 기반 재료를 모두 증착 할 수있는 단일 웨이퍼, 다중 스테이션 CVD 원자로입니다. EMCORE E300 의 독보적인 설계를 통해 높은 처리량과 뛰어난 균일성을 제공하므로 고품질의 박막 (Thin-film) 재료를 생산할 수 있습니다. E300은 견고한 스테인레스 스틸 (Stainless Steel) 로 구성되어 있으며 내구성이 뛰어나고 유지 보수가 쉽습니다. VEECO/EMCORE E300 은 각각 단일 웨이퍼를 수용하는 4 개의 개별 포함 프로세스 스테이션으로 구성됩니다. 각 프로세스 스테이션은 박막 증착 (Thin-film deposition) 과정을 최적화하기 위해 원하는 압력 외에 최대 700 C의 온도를 유도 할 수 있습니다. 역에서 역으로 웨이퍼를 운송하기 위해 카세트로 고급 카세트를 사용하는 반면, VEECO E300 (VEECO E300) 의 우수한 압력 기능을 통해 다양한 CVD 가스를 활용하여 증착에 최적의 환경을 구축할 수 있습니다. EMCORE E300 은 온도 및 압력 조절 외에도 다양한 고급 센서 (Advanced Sensor) 를 장착하고 있으며, 4 개의 챔버 각각에서 가장 높은 효율성을 유지하기 위해 매개변수를 모니터링하도록 설계되었습니다. E300의 고급 기능 (예: 우수한 기판 온도 제어) 은 열 감도에 크게 영향을 주지 않고, 재질의 품질을 저하시키지 않고 빠르고 균일 한 증착을 허용합니다. 핫 월 CVD 공정의 사용으로 증착률이 더욱 향상됩니다. 이 프로세스를 통해 단일 웨이퍼 (single-wafer) 에 여러 레이어 (material layer) 를 생성할 수 있습니다. 이 프로세스는 완료하는 데 거의 몇 초가 걸립니다. 또한, 퇴적된 재료의 품질과 균일성을 최적화하기 위해, 급속 냉각 공정 (rapid cooling process) 이 레이어 형성 후 구현된다. VEECO/EMCORE E300 은 사용자 친화적인 제품으로, 모든 공인 엔지니어가 쉽게 운영하는 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 제공합니다. GUI 의 직관적인 설계를 통해 모든 프로세스 매개변수 (process parameter) 와 고품질 박막 재료를 생산하는 데 필요한 모든 조정 (adjustment) 을 제어할 수 있습니다. VEECO E300 (VEECO E300) 은 다양한 재료에서 뛰어난 박막 생산을 가능한 고급 CVD 원자로입니다. 고급 기능으로 고품질의 박막 재료를 빠르고 균일하게 증착시킬 수 있으며, 열 특성과 최소 압력 손실 (pressure loss) 이 향상되었습니다. 또한 그래픽 사용자 인터페이스는 자격을 갖춘 모든 엔지니어가 쉽게 작업할 수 있습니다. EMCORE E300 은 EMC 의 생산능력을 극대화하려는 모든 연구/산업 시설에 적합한 솔루션입니다.
아직 리뷰가 없습니다