판매용 중고 VEECO / EMCORE E300 GaNzilla #293759445

VEECO/EMCORE E300 GaNzilla는 대량의 고성능 GaN (Gallium Nitride) 기반 전계 효과 트랜지스터 (FET) 를 만드는 데 사용되는 원자로 장비입니다. GaNzilla는 고주파 (HF) 직류 (DC) 기반 기판 바이어스 전원에서 작동하는 직류 (DC) 폐쇄 사이클 반응성 스퍼터 증착 시스템입니다. GaNzilla는 증착 공정을 세밀하게 조정 한 고품질 GaN 재료를 생산할 수 있습니다. 이 장치는 GaN 합금 시스템과 고성능 장치가 다른 어플리케이션에 적합합니다. GaNzilla는 RF 전원 공급 장치와 RF 발전기의 두 부분으로 구성됩니다. RF 전원 공급 장치는 증착을 위해 RF 신호의 주파수를 조작합니다. 이것은 퇴적되는 물질의 결정 구조를 제어합니다. RF 생성기는 진공 조건에서 공정 챔버 (process chamber) 의 음극에 필요한 전력을 공급합니다. VEECO E300 GaNzilla 기계는 단일 웨이퍼 서셉터 기반 증착 도구를 사용합니다. 즉, 기판은 나머지 챔버에서 분리됩니다. 이는 증착 과정에서 균질성과 반복성을 보장하고 외부 소스의 오염을 방지합니다. 자산의 공정 챔버 (process chamber) 는 고품질 스퍼터 증착 재료로 공정 챔버를 신속하게 대피하고 다시 채울 수 있도록 설계되었습니다. GaNzilla는 AlGaN, InGaN, Si-doped GaN 및 AlInGaN과 같은 고품질 GaN 기반 재료를 포함하여 증착 프로세스에 광범위한 재료를 사용할 수 있습니다. 이 재료는 FET, 고전압 응용 프로그램과 같은 고성능 장치를 생산할 수 있습니다. GaNzilla는 온도 조절, 부분 압력 제어, 바이어스 RF 전원 제어, 가변 압력 제어 등 고급 프로세스 제어 기능도 지원합니다. 이러한 기능을 통해 정확하게 조정되고 제어되는 증착 (deposition) 프로세스를 통해 지속적으로 FET 및 기타 고성능 장치를 생산할 수 있습니다. EMCORE E300 GaNzilla 는 터치스크린 인터페이스 (Touch-Screen Interface) 와 가장 향상된 프로세스를 손쉽게 확장, 구현할 수 있는 라이브러리 (Library of Recipe) 를 통해 사용자에게 매우 친숙한 제품입니다. 이를 통해 각기 다른 증착 기법 및 재료를 실험하는 한편, 증착 과정이 강력하고 반복 가능하다는 확신을 제공합니다. 전반적으로, E300 GaNzilla는 고급 GaN 기반 FET 및 기타 고성능 장치를 짧은 턴어라운드로 생산할 수있는 다재다능한 원자로 모델입니다. 사용자 친화력과 결합된 매우 다양한 프로세스 제어 (process control) 기능을 통해 유연하고 고성능 증착 프로세스를 구현할 수 있습니다.