판매용 중고 VEECO / EMCORE E300 GaNzilla #293751365

VEECO/EMCORE E300 GaNzilla는 플라스마 강화 화학 증기 증착 (PECVD) 원자로입니다. 갈륨 니트 라이드 (Gallium Nitride, GaN) 및 기타 재료의 균일 한 코팅을 입금하고 재배하는 데 사용되는 고성능 증착 도구입니다. GaNzilla에는 큰 반응 챔버가 장착되어 있으며, 큰 기질을 처리 할 수 있으며, 500 ° C ~ 1300 ° C의 프로세스 창이 있습니다. 빠른 로드 잠금 (Rast Load Lock) 시스템을 통해 빠른 증가와 빠른 프로세스 주기 작업을 수행할 수 있습니다. 원자로는 무선 주파수 (RF) 플라즈마 소스를 사용하는데, 이는 종의 제어와 고도로 균일 한 코팅을 개선 한 고밀도 플라즈마 (plasma) 를 제공한다. GaNzilla는 고효율 GaN 증착을 위해 설계되었으며, 최소한의 설정으로 즉시 사용할 수 있습니다. 또한, 높은 기질 균일성을 보장하기 위해 운동학적 커플 링이있는 통합 기질 가열 시스템을 갖는다. 사용자는 프로세스 (예: 플라즈마 전원, 가스 흐름, 기판 온도) 의 매개변수를 쉽게 제어하여 최적화된 최종 제품을 확인할 수 있습니다. 원자로에는 또한 특정 샘플의 필요에 맞게 프로세스를 조정하는 가변 챔버 형상 (variable chamber geometry) 이 있습니다. VEECO E300 GaNzilla에는 유연한 PC/PLC 제어 모듈이 포함되어 있으며, 이를 통해 원자로를 자신의 요구에 맞게 조정할 수 있습니다. 원자로가 제대로 작동하고 있고 사고가 발생하지 않도록 하는 여러 안전 (Safety) 기능도 포함되어 있습니다. 전반적으로, EMCORE E300 GaNzilla는 다른 시스템보다 주기 시간이 적은 GaN 필름의 효율적이고 안정적인 증착에 사용될 수있는 고성능 원자로입니다. 가엔질라 (GaNzilla) 는 고급 기능으로 반도체 장치에서 마이크로전기 시스템 (microelectromchanical system) 에 이르기까지 다양한 응용 분야에 적합한 고품질 필름을 생산할 수 있다.