판매용 중고 VEECO / EMCORE E300 GaNzilla #293749112

VEECO/EMCORE E300 GaNzilla는 반도체 산업에서 사용되는 질화 갈륨 (GaN) 결정의 성장을 위해 설계된 금속 유기 증기 상 에피 택시 (MOVPE) 원자로 시스템입니다. 생산성 및 확장성 극대화에 최적화되어 기존의 MOVPE GaN 원자로에 비해 최대 3 배나 성장할 수 있습니다 (영문). VEECO E300 GaNzilla의 독특한 디자인에는 프로세스 제어를 개선하고 입자 오염 물질을 줄일 수있는 혁신적인 고효율 배기 캡처 시스템 (Exhaust Capture System) 이 포함되어 있어 최고의 순도 및 최고 품질의 GaN 크리스탈이 성장할 수 있습니다. 또한 저온, 저압 공정을 사용하여 열 스트레스를 줄이고 결정 품질을 향상시킵니다. EMCORE E300 GaNzilla는 고압 RFE (Resonant Frequency Enhanced) 가스 분사 기술로 구동되므로 수동 가스 제어가 필요하지 않으므로 복잡성 감소, 안정성 및 정확성 향상, 시스템 내 이동 부품 수가 줄어듭니다. E300 GaNzilla에는 고급 VEECO 챔버 기술이 장착되어 있으며, 임베디드 실리콘 카바이드 방열판 및 조정 가능한 원자로 위치 컨트롤러가 있습니다. 이를 통해 원자로 챔버 내 온도, 압력, 균일 성 및 분포를 정확하게 제어 할 수 있으며, 고품질 GaN 에피 택시 (epitaxy) 에 맞게 최적으로 조정 된 프로세스가 가능합니다. VEECO/EMCORE E300 GaNzilla는 내장된 안전 및 보호 기능으로 설계되어 가스 및 전력 모니터링, 능동적인 과압 보호, 이온 넷 전류 제어, 공기 흐름 제어 등 안전하고 신뢰성이 높은 성장 프로세스를 제공합니다. VEECO E300 GaNzilla는 탁월한 비용 효율성과 확장성과 강력한 설계 및 제어 기능을 결합했습니다. 독보적인 프로세스 기능과 첨단 EMCORE 챔버 (EMCORE Chamber) 기술이 가장 높은 표준을 충족시켜 GaN Crystal 을 확장하여 가장 까다로운 애플리케이션에 적합합니다.