판매용 중고 VEECO / EMCORE D9000 #9196536

VEECO/EMCORE D9000 Reactor는 제조, 테스트 및 연구 응용을 위해 설계된 최첨단 EM (Electro-Magentic) 현장 원자로입니다. 원자로의 독특한 디자인은 전자 플라즈마 가속 (Plasma Acceleration) 과 마이크로파 분해 (Microwave Breakdown) 를 모두 지원할 수있는 최적의 자기 환경을 제공하여 원자로를 다양한 응용에 유용하게 만듭니다. 플라즈마 생산 능력은 복합 필름 (composite film) 과 반도체 처리에 사용되는 에피 택시 웨이퍼 (epitaxial wafer) 를 만드는 데 필수적입니다. 원자로는 RF (Ultra High Radio Frequency) 전원 기능을 제공하여 다양한 공정 온도 및 압력에서 더 높은 효율로 작동 할 수 있습니다. 근거리 효과를 활용하면 일반적인 런투런 (run-to-run) 시간에 높은 제품 수율을 달성 할 수 있습니다. 원자로에는 또한 정확한 열 및 유체 제어 시스템이 포함되어 있으므로 기존 진공 기술과 매우 호환됩니다. 또한, 튜닝 가능한 자기장은 구성 및 온도와 같은 플라즈마 특성을 유연하게 제어 할 수 있습니다. VEECO D9000 원자로는 자동 정렬 및 진단 모니터링 시스템 옵션과 함께 사용할 수도 있습니다. 이를 통해 최소 운영자 참여로 정확한 장비 진단이 가능합니다. 또한, 원자로에는 시스템 수준에 사전 프로그래밍 가능하고 사용자 정의 가능한 원자로 시퀀스가 포함되어 있으며, 특정 프로세스 요구에 대한 최대한의 최적화가 가능합니다. EMCORE D9000 Reactor 의 통합 소프트웨어는 효율성을 높여 신속한 측정 및 수정 작업을 원활하게 수행할 수 있는 환경을 구축합니다. 동적 단위 제어 매개변수를 사용할 수 있으며 시스템 성능 및 프로세스 변수 (예: 챔버 압력, rf 생성기 출력, 입력 전원 수준) 를 원격으로 모니터링할 수 있습니다. 또한, D9000 원자로는 자동 차단 시퀀스, 발전기 출력의 타이머 제어 등의 고급 에너지 관리 기능을 제공합니다. 혁신적인 고속 작동 셔터, 자동 압력 제어 (Automatic Pressure Control) 및 자동 RF 튜닝을 통합하여 정확한 원자로 제어를 보장하여 반복 가능한 프로세스 성능과 프로세스 결과의 정확한 반복성을 제공합니다. 이러한 혁신을 통해 VEECO/EMCORE D9000 원자로는 제조, 연구, 테스트 애플리케이션에 이상적인 안정성과 적응성이 뛰어난 장치입니다.