판매용 중고 VEECO / EMCORE D9000 #293765079

VEECO/EMCORE D9000 은 전자, 반도체, 광학 산업을 위한 R&D 증착 공정을 위해 설계된 강력한 원자로입니다. VEECO D9000 원자로는 처리량, 균일성, 정확도가 뛰어난 가장 높은 처리 온도에서 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 업계에서 가장 발전된 드라이 에치 (dry etch) 및 증착 처리 시스템 중 하나이며, 단일 패키지에서 뛰어난 유연성과 성능을 제공합니다. 원자로는 최대 800 ° C의 고온 처리 용량과 최대 10 Torr의 0.1 mBar (0.1 mBar) 의 인상적인 압력 범위로 설계되었습니다. EMCORE D9000 의 온도 및 압력 제어를 통해 증착 (deposition) 및 식각 (etching) 프로세스에 대한 제어를 개선하여 정확성과 반복성을 높일 수 있습니다. D9000에는 이방성 에치 기능이 있으며 Ar/O2 공동 스퍼터링 기술을 사용합니다. 약실은 또한 NF3, SF6 및 트리메틸 알루미늄과 같은 특수 가스를 포함하여 다양한 공정 가스를 가지고 있습니다. VEECO/EMCORE D9000 의 대용량 프로세싱 용량과 x, y, z 스캐너, 플라즈마 소스 지연, 이온 소스 에너지 및 속도 제어, RF 전원 제어, in-situ 쿼츠 반사율 등 다양한 옵션 기능을 통해 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 이 시스템의 고급 증착 및 에칭 (etching) 기능은 박막 증착에서 더 높은 처리 온도와 더 큰 균일 성을 가능하게합니다. VEECO D9000은 또한 고급 도량형 (Metrology) 및 이미징 (Imaging) 뿐만 아니라 고성능 온도 모니터링을 통해 처리 실행 결과를 신속하게 분석, 비교 및 확인할 수 있습니다. 원자로에는 확장 제어, 모니터링 및 실시간 데이터 분석을위한 CIMS (프로세스 계측 관리 시스템) 및 SYS-Control (유연한 프로세스 자동화 시스템) 이 포함되어 있습니다. 따라서 일상적으로 보다 효율적이고 보다 효율적으로 정보를 얻을 수 있으며, 이를 통해 보다 효율적이고 정확한 프로세스 최적화 작업을 수행할 수 있습니다. EMCORE D9000 은 반도체, 전자 제품, 광학 업계의 R&D 증착 프로세스에 적합한 첨단 원자로입니다. 고온 처리, 다양한 기능 (옵션), 고급 제어 시스템 (고급 제어 시스템) 및 모니터링 기능을 통해 강력하고 다양한 도구를 사용할 수 있습니다. 증착 및 에칭 (etching) 프로세스에서 최고 수준의 정확성과 반복성을 보장하도록 설계되었습니다.