판매용 중고 VEECO / EMCORE D300 #9264313

VEECO/EMCORE D300은 유형 D 고전압 전자빔 물리적 증착 (EB-PVD) 원자로입니다. 다중 접합 농축기 셀, 유연한 셀 및 모듈, 상용 등급 모듈 구성 요소 등 고품질의 박막 태양 광 응용 프로그램 생산을 위해 설계되었습니다. VEECO D300 원자로는 낮은 자기 가로장을 특징으로하며, 이는 다 접합 농축기 세포 처리에 중요하다. 또한 정확하고 반복 가능한 박막 태양 광 응용 프로그램을 달성하는 데 필요한 높은 균일성을 제공합니다. 원자로에는 저원 대 기판 열 로딩에 효과적인 열 격리 시스템 구성이 포함되어 있습니다. 또한 낮은 공기 잠금 (air-lock-volume) 설계를 통해 열 주기가 짧아 처리량을 높일 수 있습니다. 원자로에는 필름 두께와 레이어 균일성 제어가 가장 높은 폐쇄 루프 온도 제어 시스템 (closed-loop temperature-control system) 이 있습니다. EMCORE D300 원자로에는 고품질 금속 및 산화물 박막 형성에 도움이 되는 고급 옵틱이 장착되어 있습니다. 곡면 표면에 부드러운 증착을 가능하게하고 균일 한 다층 구조를 생성 할 수있는 고급 DC 바이어싱 시스템 (advanced DC biasing system) 이 있습니다. D300 원자로에는 박막 태양 광 응용 프로그램 생산에 필요한 PVD (Advanced Physical Vapor Deposition) 기술도 포함되어 있습니다. 여기에는 EB 도금, 다중 영역 PVD 기능 및 특정 광 속성을 얻기 위한 이온 보조 증착이 포함됩니다. VEECO/EMCORE D300 원자로는 최대 1,000 ° C의 온도로 고온 처리 작업이 가능합니다. 또한 자동 청소 (Automatic Cleaning) 기능이 장착되어 있어 다운타임 최소화와 생산량 향상을 의미합니다. 또한, VEECO D300 원자로는 스테인리스 스틸 진공실 (stainless steel vacuum chamber) 및 오븐 챔버 (oven chamber) 와 같은 견고한 구성 요소로 구성되어 최고 품질과 신뢰성을 보장합니다.