판매용 중고 VEECO / EMCORE D300 #9142693

VEECO / EMCORE D300
제조사
VEECO / EMCORE
모델
D300
ID: 9142693
웨이퍼 크기: 4"
MOCVD System, 4".
VEECO/EMCORE D300은 발광 다이오드 (LED) 생산을 위해 설계된 빠른 열 처리 원자로입니다. 원자로는 공정 대기를 보호하기 위해 50 토르 (Torr) 에 밀봉되는 공정 챔버를 특징으로합니다. 이 장치에는 내장 듀얼 존 수평 또는 수직 서셉터 장비, 절연 수직 플랜지, 수평 또는 수직 알루미나 서셉터가 있습니다. 감수기 시스템은 높은 온도 정확도가 필요한 프로세스에 대해 더 나은 온도 균일 성을 허용합니다. 이 장치는 10 ° C ~ 900 ° C의 온도 범위를 제공하며, 빠른 열 열화를 위해 최대 200 ° C/s의 가변 가열 속도를 제공합니다. 비활성, 활성 및 반응성 가스로 구성된 공정 대기를 가지며, 최대 15 개의 튜브 퍼니스를 수용 할 수 있습니다. 또한 처리 중 과압/과잉 샘플링을 방지하기 위해 고압, 온도 안전 모니터가 장착되어 있습니다. 이 장치는 시간, 온도, 압력 및 기타 여러 매개 변수 설정을 포함한 프로세스 제어를 제공합니다. 디지털 제어 머신 (Digital Control Machine) 은 데이터 로깅 및 프로세스 내 정보 및 포스트 프로세스 정보 분석을 포함한 정확한 프로세스 제어를 제공합니다. 이 장치에는 완전히 밀폐된 공랭식 전기 공구와 장기 내구성을 제공 할 수있는 스테인리스 스틸 (stainless steel) 공구가 있습니다. 또한 교체 가능한 시트 LED가 장착 된 트윈 필라멘트 기술 (Twin Filament Technology) 이 포함되어 있어 안정적이고 반복 가능한 성능을 제공합니다. 이 장치는 쉽게 설치하고 유지 관리할 수 있도록 설계되었습니다. 직관적인 인터페이스를 통해 쉽게 설치, 유지 보수 및 작업을 수행할 수 있습니다. VEECO D300의 전체 효율 등급은 90% 이며, 잔여 방사선 및 90 ° F 주변 온도 등급입니다. 백라이트, 주간 실행 램프, 박막 디스플레이 등 다양한 LED 어플리케이션에 적용할 수 있도록 설계되었습니다. 반도체 재료의 연구 개발에도 적합합니다. 이 장치는 짧은 처리 시간 (processing time) 에 대한 빠른 대피 자산과 필요할 때 빠른 열 종료를 위해 낮은 열 질량 서셉터 (thermal mass susceptor) 모델을 갖추고 있습니다. 또한 900 ° C의 온도가 균일 한 단일 샷 응용 프로그램을 제공합니다.
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