판매용 중고 VEECO / EMCORE D180 #9224745

VEECO/EMCORE D180은 나노 스케일 증착 응용을 위해 설계된 최첨단 리에 에칭 (RIE) 원자로입니다. 이 고성능 장비는 진공 증착 (vacuum deposition) 과 에칭 (etching) 의 최신 기술과 고급 제어 알고리즘을 결합하여 안정성과 정확성을 제공합니다. VEECO D180은 나노 미터 정확도로 복잡한 구조와 구조를 실현 할 수 있습니다. EMCORE D-180 은 고급 이중 소스 차폐 아키텍처 설계를 통해 보다 공간적으로 균일한 etch 프로필을 제공합니다. 이 디자인은 전자 빔 (beam column) 의 멀티 웨이퍼 감수성 코일 (multi-wafer surceptibility coil) 의 균일성과 함께 기판보다 우수한 층 균일성 및 반복 성을 초래합니다. D-180 (D-180) 은 또한 공정 제어를 강화하기 위해 증착실 전체에 균일 한 가스 흐름을 보장하는 독특한 가스 시스템 설계를 포함합니다. 이 장치의 고속 웨이퍼 회전은 일관된 제품 증착을 가능하게하며, 프로세스 신뢰성이 향상됩니다. 또한, 챔버에는 정밀 온도 조절 및 정밀한 가스 전달을 위해 서미스터, 가스 센서, 다이어프램, 히터 등 다양한 장치 친화적 인 구성 요소가 장착되어 있습니다. 기계는 또한 전자기장의 강도를 제어 할 수 있으며, EDX (Energy Dispersive X-ray) 빔을 조정할 수도 있습니다. EMCORE D180 은 구성 기능이 뛰어나며 유연한 프로세스 소프트웨어, 저소음 팬 시스템, 자동 워시 스테이션 (Automatic Wash Station) 등의 추가 기능을 제공합니다. 이러한 모든 기능은 VEECO 독점 설계 및 품질 엔지니어링과 결합하여 D180을 나노 스케일 구조의 정확한 에칭 및 증착에 사용할 수 있습니다. 또한, 이 도구는 각 프로세스 스테이션에서 최대 6 개의 플라즈마 소스를 지원할 수 있으므로, 시스템의 성능과 유연성이 향상됩니다. VEECO D-180은 처리량이 높은 어플리케이션을 위해 최대 400mm/min의 속도를 낼 수도 있습니다. 진단 챔버 (Diagnostic Chamber) 가 장착되어 있어 프로세스의 진단과 미세 튜닝이 가능하므로 전문 운영/유지 보수 (Operating/Maintenance) 기술자를 확보할 필요가 없습니다. 자산의 첨단 설계 및 기술을 활용하여 VEECO/EMCORE D-180 을 사용하여 나노구조화 (nanosstructured) 자재 및 계층을 생산할 수 있으며, 제조업체가 고성능 제품과 부품을 생성할 수 있습니다. VEECO/EMCORE D180 은 다양한 nanoscale 애플리케이션에 일관되고, 재현 가능한 성능과 품질을 제공할 수 있는 첨단 모델입니다.