판매용 중고 VEECO / EMCORE D180 #293760075

VEECO/EMCORE D180은 소형의 수직 열 플라즈마 원자로로, 재료 처리, 에칭 및 증착 분야의 다양한 응용 분야에 적합합니다. 그것 은 직경 이 35 "센티미터 '까지 되도록 설계 되었으며, 공정 사이 에 신속 히 교환 할 수 있는 교체 할 수 있는" 기판 홀더' 가 있다. 원자로에는 3.6kW 정전식 결합 DC 전원 공급 장치, 플라즈마 흥분을위한 삼각 RF 발전기, 원자로 온도 조절을위한 정확한 온도 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 원자로의 주요 구성 요소는 진공실 (vacuum chamber), 전원 공급 장치 (power supply) 및 소스 어셈블리 (source assembly) 입니다. 진공실은 스테인리스 스틸 (stainless steel) 구조이며 진공 펌프의 도움으로 저압 (< 10 mTorr) 을 형성하고 유지하도록 설계되었습니다. 전원 공급 장치 (Power Supply) 는 균일 한 전력 분배를 가능하게하므로 높은 플라즈마 밀도에 적합하므로 프로세스 매개변수를 최적화합니다. 소스 어셈블리는 플라즈마 생성을 위해 전자 레인지 에너지를 제공하는 데 도움이됩니다. VEECO D180 원자로에는 난방 요소, 냉각 코일 및 방사선 쉴드가 포함 된 열 구역이 장착되어 있습니다. 난방 요소 는 온도 를 1,500 "° C '까지 올리는 데 사용 되며, 냉각" 코일' 은 기판 의 급속 한 냉각 에 사용 된다. 방사선 방패는 흑연 (graphite) 으로 만들어졌으며 기판과 챔버 벽 사이의 절연체 역할을합니다. 원자로의 진공 작동은 프로그램 가능한 진공 제어 시스템 인 Sub-Queuer를 통해 제공됩니다. 이 시스템은 전원 공급 장치, 냉각, 프로세스 타이밍, 종료 절차 등의 다른 프로세스 매개변수에 연결할 수 있습니다. Sub-Queuer는 또한 꾸준한 프로세스 분위기를 유지 관리할 수 있습니다. EMCORE D-180에 내장된 안전 기능에는 비상 압력 밸브, 흐름 스위치 및 압력 완화 밸브가 포함됩니다. 흐름 스위치 (flow switch) 는 압력의 이상을 감지하는 데 사용되며, 압력 완화 밸브 (pressure relief valve) 는 작동 압력을 수동으로 조정하여 시스템이 위험한 수준에 도달하지 못하도록 합니다. 또한 D-180은 균일 하고 고밀도 플라즈마 작동을 위해 설계되었습니다. 이를 통해 증착과 선택적 에칭을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한, 수직 챔버 설계는 균일 한 코팅을 보장하는 반면, 교체 가능한 부품은 손쉬운 유지 관리 및 청소를 보장합니다.