판매용 중고 VEECO / EMCORE D180 GaAs #9031463

ID: 9031463
빈티지: 1999
MOCVD System Throughput: 6" x 2" MO Sources: TMAl-1, TMGa-2, DEZn-1, TMIn-1, CCl4-1 Hydride sources: PH3, AsH3, H2, N2, Si2H6, H2S Epison III for TMIn IEM (GB) 1999 vintage.
VEECO/EMCORE D180 GaAs 원자로는 반도체 업계의 응용 프로그램을 처리하기위한 생산 등급 고급 증기 증착 도구입니다. 이 원자로는 광자, 태양 전지, 광전자 장치 등 다양한 응용 분야에서 사용할 수있는 고품질, GaAs 기반 구성 요소 및 재료의 대용량, 일관된 생산을 가능하게합니다. 장비는 3 가지 주요 구성 요소, 즉 진공 증착실, 기화실 및 배기 코팅으로 구성됩니다. 진공 증착 챔버 (vacuum deposition chamber) 에는 기판 홀더에 장착 된 기판이 있으며 증발, 스퍼터링 및 기타 필름 증착 과정을 수용하는 데 사용됩니다. 챔버에는 내부 쿼츠 뷰 포트 (in-situ quartz view port) 가 장착되어 있어 성장 프로세스를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 기화실 은 "소스 '재료 의 공급 에 사용 되며, 그 후 기판 에 전달 된다. 증착 과정을 지원하거나 수정하기 위해 가스 (gase) 를 챔버에 넣을 수 있습니다. 배기 코팅은 증착실 (deposition chamber) 에서 균일 한 진공 압력을 유지하는 데 도움이되며, 이는 재료 증착에 대한 최적의 프로세스 조건을 보장합니다. VEECO D180 GaAs 원자로는 최대 550 도의 넓은 온도 범위 하에서 작동하도록 설계되었으며, 금, 알루미늄, 구리를 포함한 금속의 고온 증기 증착 및 전기 도금을 가능하게합니다. 이 시스템은 증착률이 빠르며, 구성 요소의 처리량이 높습니다. 원자로에는 다른 컴퓨터 또는 컨트롤러와의 통신을 위해 표준 USB 포트가 장착되어 있습니다. 이 장치는 또한 비디오 스트리밍, 금속 염 합성, 증착율 직접 제어 (direct control of deposition rate) 등 임베디드 프로세싱을 통해 증착 과정을 자동으로 제어 할 수 있습니다. 이 기계는 모든 안전 표준을 충족하며 통합 프로세스 제어, 냉각, 안전 측정, 긴급 차단 시스템 등 고급 안전 설계 (Advanced Safety Design) 를 갖추고 있습니다. EMCORE D180 GaAs 원자로는 쉽게 사용할 수 있으며 유지 보수 서비스가 가능합니다. 이 도구로 다양한 재료 및 컴포넌트를 처리할 수 있으며, 응용 프로그램 범위를 더욱 확대하고, 반도체 기반 컴포넌트를 보다 효율적으로 생산할 수 있습니다.
아직 리뷰가 없습니다