판매용 중고 VEECO / EMCORE D125 #293793344

VEECO/EMCORE D125는 다양한 스퍼터 증착 응용을 위해 설계된 고출력 수직 전자 사이클로트론 공명 (ECR) 마그네트론 스퍼터링 원자로입니다. 원자로에는 수직 몰리브덴 음극과 최대 125mm 직경 대상을 수용 할 수있는 양극이 있습니다. 오븐은 가능한 3 Torr 하한으로 최대 6 Torr의 압력을 지원할 수 있으며, 증착 구역에서 일관되고 균일 한 가스 환경을 만드는 독특한 가스 믹서 노즐 (gas-mixer nozzle) 을 특징으로합니다. 원자로는 ECR 전자 레인지 파워 (microwave power) 로 구동되며, 웨이브 가이드 개구부가 125mm 인 짧은 웨이브 가이드 (waveguide) 가 장착되어 있습니다. 이를 통해 ECR 마이크로파 전력의 직접 웨이브 가이드 커플 링이 가능하여 증착률 및 이온화 효율이 향상됩니다. VEECO D125는 13.56MHz에서 작동하며, ECR 마이크로파 전원 수준을 정확하게 제어할 수 있는 임베디드 (Embedded) 전원 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 또한 전원 제어 시스템을 사용하면 대상 크기, 대상 모양, 증착률, 기본 압력, 전자레인지 전원 등 시스템 매개변수의 레시피 제어를 강화할 수 있습니다. 원자로는 최대 3 개의 RF 가열원과 쿼츠 램프 가열, 온도 측정을위한 통합 피로미터 (pyrometer) 등 다양한 가열 옵션을 제공합니다. "피로미터 '가 설치 되면," 오븐' 은 산화 와 부화 과정 에도 사용 될 수 있다. EMCORE D125 와 함께 제공되는 쿼츠 램프 가열 램프 (Quartz Lamp Heating Lamps) 는 조절 가능한 강도를 가지며, 기판의 정밀한 가열을 위해 높이 조절 가능한 적외선, 초보라형 및 깊은 초보라로 제공됩니다. 또한 D125 원자로는 여러 가지 기본 압력 조건, 사용자 정의 대상 하네스 길이 (custom target harness length) 및 양극 설계, 구성 가능한 ECR 원격 소스 (optional configurable ECR remote source) 등 고객의 요구에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 원자로는 또한 유해 지역 환경에서 사용하도록 인증되었으며 ATEX 및 IECE x 등 다양한 분류를 가지고 있습니다. 이는 산업, 연구, 대학 실험실 등 다양한 응용 분야에 적합합니다. 전반적으로 VEECO/EMCORE D125 는 효율적이고, 안정적이며, 사용자 정의 가능한 원자로로, 탁월한 성능과 품질의 증착을 제공합니다. 원자로는 다양한 유연한 옵션을 제공하며, 다양한 스퍼터 증착 응용프로그램 (sputter deposition application) 에 적합한 선택입니다.