판매용 중고 VEECO E475 #293641835

VEECO E475는 매우 높은 순도 재료를 생산하도록 설계된 원자로입니다. 이것은 원자로의 진공로 내에서 열, 고전압, 진공의 조합으로 수행됩니다. 용광로의 온도 범위는 1400 ° C 인 반면, 전극의 고전압 등급은 200 ~ 10,000 V 범위이며, 기판에 다양한 금속 또는 합금을 증착 할 수 있습니다. 원자로는 옵션으로 제공되는 독특한 올 메탈 핫 월 (all-metal hot-wall) 설계를 가지고 있으며 최대 압력 10-4 torr입니다. 또한, 반응 가스 입구 및 배기 장비는 각각 최대 15 sccm 및 200 sccm의 다양한 가스 흐름을 허용합니다. 이를 통해 증착 과정에 대해 정확하게 제어 된 Ar, O2, N2 및 기타 분자를 허용합니다. 퍼니스에는 또한 2 개의 무유 펌핑 시스템이 있으며, 하나는 공정 공급 (14.7 psi) 및 하나는 진공 챔버입니다. 진공 실의 경우, 펌핑 시스템은 스크롤 펌프 (scroll pump) 로 뒷받침되는 차가운 외상 터보 분자 펌프로 구성됩니다. 이 두 종류 의 "펌프 '는 문 을 통하여 공정" 챔버' 를 열고 닫을 수 있는 능력 과 결합 된 것 으로, 공정 "펌프 '의 대기 를 매우 정확 하게 조절 할 수 있을 뿐 아니라, 매우 깨끗 한 작동 을 보장 해 준다. 제어 장치를 통해 고객은 터치 스크린 (touch screen) 을 통해 모든 작업을 설정하고 모니터링할 수 있습니다. 이 제어 장치 (Control Machine) 를 사용하여 고객은 가스 흐름, 압력, 전원 설정을 미세하게 조정하여 다양한 기판 재료에 대한 증착 속도와 균일성을 최대화할 수 있습니다. E475는 고품질 재료를 생산할 수 있는 안정적이고 사용하기 쉬운 원자로입니다. 이 원자로는 나노 구조 (nano-structuring) 에서 복잡한 패턴 (patterning) 에 이르기까지 많은 응용 분야에 적합하며 산업 및 학술 테스트 또는 연구에 이상적입니다.