판매용 중고 VEECO E450 #293641839

VEECO E450은 ALD (Atomic Layer Deposition) 원자로로, 적합성과 균일성이 뛰어난 박막의 증착에 사용됩니다. 박막 증착 (Thin-film deposition), 에피택시 성장 (epitaxy growth), 에칭 (etching) 과 같은 소규모 반도체 제작 프로세스의 요구 사항을 충족하도록 설계된 다목적 도구입니다. 원자로는 뛰어난 공정 반복성, 정밀성, 더 높은 수율, 향상된 전체 공정 제어를 제공합니다. E450에는 이중 소스, 저에너지 전자 빔 증발 장비 및 가변 금속 산화물 소스가 장착되어 있습니다. 이 증발기는 균일 성, 두께, 균질성이 향상된 기판에 고품질의 박막을 증착 할 수 있습니다. 금속 산화물 (metal oxide) 소스는 매우 좁은 두께 프로파일을 가진 필름을 생성 할 수 있으며, 이는 고성능 장치 제작에 중요합니다. 또한, 시스템은 다양한 화학 성분을 가진 다양한 ALD 프로세스와 필름을 수행하도록 구성 될 수있다. VEECO E450은 개선 된 프로세스 수율 및 제어를 위해 정확한 온도, 시간, 압력 제어를 제공하는 고급 장치 수준 제어기 (Advanced Unit Level Control Machine) 를 갖추고 있습니다. 이 도구는 원하는 증착 결과를 얻기 위해 25 개 이상의 프로세스 변수를 제어할 수 있습니다. 또한 필름 두께 (Film Thickness) 와 품질 (Quality) 을 측정하는 통합 도량형 및 분석 기능뿐만 아니라 고급 프로세스 제어를 용이하게합니다. E450 원자로는 가동 시간, 반복 가능성, 신뢰성이 높은 유연한 생산 프로세스를 위해 설계되었습니다. 저온 반응 챔버 2 개, 빠른 사이클링 로드 록, 고효율, 저이온화 펌핑 시스템 등 현대의 고급 구성 요소 및 기술로 제작되었습니다. 또한, 프로세스 개발 및 테스트는 통합 테스트 챔버에서 수행 할 수 있습니다. VEECO E450 원자로는 고급 반도체 장치 제작을 위한 핵심 장비다. 뛰어난 필름 균일성, 고수율, 반복성을 제공하는 사용이 간편한 자산입니다. 또한, 고급 모델 레벨 제어 및 통합 도량형 (integrated metrology) 을 통해 원하는 박막 증착 결과가 일관되게 달성됩니다.