판매용 중고 VEECO / DEKTAK K465 #9383053

VEECO/DEKTAK K465는 증착 및/또는 에칭 제어에 사용되는 원자로 유형입니다. 타원법 (ellipsometry), 광학 간섭법 (optical interferometry), 주사 전자 현미경 (scanning electron microscopy) 과 같은 다른 분석 기술을 수행하기 위해 작동하는 석영 결정 미생물 장비입니다. 이 원자로는 종종 고급 집적 회로 (IC) 의 연구 및 제조에 사용됩니다. VEECO K465는 정밀한 프로세스 제어를 위해 함께 작동하는 여러 구성 요소로 구성되어 있습니다. 원자로 중심부에는 석영-결정-미세 균형 결정 세포 (Quartz-crystal-microbalance Crystal Cell) 가 있는데, 이는 매우 적은 양의 질량 강착 및 에칭을 측정하는 데 사용됩니다. 이 시스템에는 증착 및 에칭 프로세스를 모니터링하기위한 초고속 디지털 영상 장치 (Ultrafast Digital Imaging Unit) 도 포함되어 있습니다. 이 기계에는 스퍼터링 및 이온 에칭을위한 이온 소스, 대기 조절을위한 진공 펌프, 기타 다양한 구성 요소가 포함되어 있습니다. DEKTAK K465는 프로세스 매개 변수를 제어할 때 뛰어난 정확도, 정확성 및 반복성을 제공합니다. 초고해상도 측정치를 1 나노 미터 (nanometer) 범위로 낮출 수 있으며, 온도와 압력 범위에서 증착 (deposition) 및 에칭 (etching) 기술에 적합합니다. 원자로는 또한 금속, 반도체, 절연체 (insulator) 와 같은 다양한 물질 및 기질에 대한 연구 및 테스트에 사용된다. 원래는 IC 처리 연구 및 개발을 위해 설계되었지만, K465는 자동차, 화학/공정, 의료 기기 제조 등 다른 산업에서도 사용됩니다. 원자로는 플라즈마 공정 (plasma process) 에서 우수한 성능을 발휘하고 이러한 산업에 대해 더 빠르고, 더 높은 해상도의 측정을 수행 할 수 있습니다. 전반적으로, VEECO/DEKTAK K465는 다양한 산업 및 응용 분야에 사용되는 고급적이고 고가용성 원자로입니다. 이 도구는 매우 신뢰할 수 있으며, 환경 (environment) 이나 재료 (material) 에 관계없이 매우 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. VEECO K465 는 탁월한 해상도와 성능을 갖춘 반도체 프로세싱 및 증착/에칭 제어 (eposition/etching control) 와 관련된 모든 연구/개발 프로젝트에서 고려되어야 합니다.