판매용 중고 VEECO / DEKTAK K465 #9229665

VEECO/KDEKTAK VEECO/DEKTAK K465 원자로는 반도체 산업에서 박막 증착 응용을위한 재료 층을 증착하도록 설계되었습니다. 이것은 중요한 3 차원 구조를 만들기 위해 0.1nm만큼 얇은 레이어에 대한 정확한 고해상도 제어를 제공합니다. VEECO K465 원자로는 로봇, 수동 및 단일 웨이퍼 인덱서 구성과 같은 다양한 유형의 기판 전송 메커니즘을 수용 할 수있는 다재다능한 이중 수송 벨로우를 갖추고 있습니다. 수송 벨로우는 또한 여러 원자로 구성 요소의 정확하고 일관된 통합을 허용합니다. 고급 벨로우 (bellow) 디자인은 반응 챔버 내에서 깨끗하고 안정적인 환경을 보장하며, 고품질 레이어를 생산하는 데 적합합니다. DEKTAK K465 원자로의 진공 시스템도 효율적인 성능에 기여합니다. 디퓨저와 액체 질소 방패 콜드 트랩 (cold trap) 을 갖춘 터보 펌프 (turbo pump) 로 제작되어 진공 수준이 높고 펌프 다운 시간을 줄입니다. 이를 통해 원자로가 중단 없이 신속하고 순차적 증착 (sequential deposition run) 작업을 시작할 수 있습니다. K465는 고급 기판 난방 기능도 제공합니다. 기판 온도를 정확하게 제어하기 위해 두 개의 다른 기판 영역 (즉, 저온 및 고온 영역) 이 있습니다. 또한, 영역은 기질의 균일 한 가열을위한 열적으로 분리 된 서셉터를 특징으로한다. 원자로에는 온도를 램프 할 때 정확하고 안정적인 제어를 보장하는 복잡한 제어 논리가 있습니다. 전반적으로 VEECO/DEKTAK K465는 미세한 3 차원 구조를 제조하는 데 이상적인 정밀 박막 증착 시스템입니다. 신뢰할 수있는 이중 수송 벨로우는 정확한 증착 제어를 제공하며, 진공 시스템은 일관되게 깨끗한 환경을 보장합니다. 또한, 기판 가열 기능은 기질 주변의 균일 한 온도를 보장합니다. 이 모든 것 들 은 고급 형태 의 "반도체 '기술 을 생산 하기 위한 훌륭 한 도구 이다.