판매용 중고 VEECO / DEKTAK K 465 I #9410042
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ID: 9410042
빈티지: 2010
MOCVD System
(2) EBARA ESA25-D Dry pumps
(2) LYTRON LCS7289G1 Chillers
Hydride lines: NH3, SiH4
MKS MFC Type
Alkyl lines:
Lines / SCCM
TMIn 1 / 1000 sccm
TMIn 2 / 200 sccm
TMGa 1 / 1000 sccm
TMGa 2 / 200 sccm+1000 sccm
TEGa / 1000 sccm
TMAl / 500 sccm+1000 sccm
Cp2Mg / 1000 sccm+2600 sccm
DEZn / 500 sccm+1000 sccm
RAUDA Baths:
RE235
(5) RE215
Power supply: 380 VAC, 3-Phase
2010 vintage.
VEECO/DEKTAK K 465 I는 기판의 완전한 처리를 위해 특별히 설계된 원자로 장비입니다. 증착 매개변수를 잘 제어하고, 넓은 지역에 걸쳐 효율적인 스텝 커버리지 (step coverage) 와 균일 한 필름 증착을 가능하게합니다. 48mm X 48mm 작업 영역에서 작업하면서 뛰어난 기판 균일성과 뛰어난 조작 성능을 제공합니다. 원자로는 나노 입자 규모로 단일, 다중 층 및 합금 필름 성장에 이상적입니다. 이 시스템은 반도체 (semiconductor), 연구 (research), 일반 실험실 응용프로그램 등 다양한 산업의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 물리적 증기 증착 (PVD), 저온 산화물 증착 (LTO) 및 화학 증착 (CVD) 과 같은 프로세스에 사용할 수 있습니다. 또한 다양한 산화물 및 질화물 프로파일을 시뮬레이션 할 수 있습니다. 원자로에는 기판 및 샘플 홀더, 쿼츠 뷰 포트, 공간 분포 포트, 셔터, 진공 장치, 배기 밸브, 성장률 모니터, 샘플 홀더 전원 공급 장치 및 냉각 팬이 포함됩니다. 이러한 모든 컴포넌트는 함께 작동하여 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 이 기계는 고효율 기계식 셔터 (mechanical shutter) 로 설계되어 공구에 미치는 대기 공기의 영향을 감소시켜 결과의 정확성과 균일성을 높입니다. 자산은 "라이트 챔버" 와 "강한 챔버" 가있는 2 계층 접근 방식을 기반으로합니다. "라이트 챔버 (light chamber)" 는 가장 얕은 챔버이며, 챔버 압력이 높으며, 낮은 성장률로 균일 하고 통제 된 배치 처리를 허용합니다. "강한 챔버 (strong chamber)" 는 증착 과정에 대한 제어 수준을 높이고 레이어의 균일성을 허용합니다. 이 모델은 여러 성장률과 다양한 챔버 (chamber) 구성을 사용하여 단계 범위, 균일성, 필름 품질로 우수한 결과를 얻을 수 있습니다. VEECO K 465 I 원자로는 또한 샘플 홀더 (sample holder) 전원 공급 장치로 설계되어 온도 및 성장 시간을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 장비에는 다중 영역 제어 인터페이스 (multi-zone control interface) 가 포함되어 증착 매개변수를 정확하게 조작 할 수 있습니다. 또한, 시스템은 온보드 진단 장치 (On-Board Diagnostic Unit) 로 설계되어 시스템 및 해당 구성 요소의 문제를 쉽게 해결할 수 있습니다. 전반적으로, DEKTAK K465I (DEKTAK K465I) 는 다양한 산업과 애플리케이션의 요구를 충족시키기 위해 설계된 정교하고 고급 원자로 도구입니다. 기판 처리를 완벽하게 제어하고, 보다 균일성과 성능을 보장합니다. 이 자산은 스텝 커버리지 (step coverage) 와 균일 한 필름 증착 (uniform film deposition) 을 통해 고품질 결과를 제공할 수 있으며, 가장 정확한 산업 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다.
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