판매용 중고 VEECO 695 #9291133

VEECO 695는 플라즈마 가공로로서, 반도체, LED, 태양광 및 의료 장치에 사용할 수 있는 정교한 고정밀 부품을 생산하도록 설계되었습니다. 원자로는 고급 직접 구동, 영구 자석 모터 및 5 축 간트리 장비로 제작되었습니다. 시스템은 여러 개의 이중 프로세스 웨이퍼와 하나의 웨이퍼를 지원합니다. 695 는 고급 플라즈마 (Plasma) 처리를 위한 인상적인 기능을 제공하며, 특정 프로세스 애플리케이션에 따라 사용자 정의할 수 있습니다. 여러 기술을 지원하기 위해 인테리어 오픈 인터페이스로 설계되었습니다. 이 개방형 인터페이스를 통해 VEECO 플라즈마 소스, 이온 빔 생성기 및 스캐닝 타원계와 호환됩니다. 세 가지 흡수 모델로도 제공됩니다. VEECO 695에는 원자로를 구성하는 2 개의 챔버가 있습니다. 첫 번째는 공정 웨이퍼 (process wafer) 를 유지하도록 설계되었으며 다른 하나는 플라즈마 소스를 보유합니다. 공정 웨이퍼는 직경이 최대 30 인치, 두께는 최대 100 미크론입니다. 플라즈마 소스는 처리 중에 최대 1.5 Torr 압력을 생성 할 수 있습니다. 695 는 고유한 유닛 인터페이스 (unit interface) 를 갖추고 있어 원자로 (reactor) 를 원격으로 제어하여 최대 수준의 제어 및 정확성을 제공합니다. 프로세스 모니터링 툴을 통해 사용자는 프로세스 매개변수를 모니터링하고 실시간으로 웨이퍼 (wafer) 의 진행 상황을 모니터링할 수 있습니다. 원자로는 챔버 (chamber) 와 웨이퍼 (wafer) 의 정확한 온도를 유지할 수있는 다중 구역 온도 조절 기계를 사용합니다. VEECO 695는 photomask, resistor 및 wafer cleaning에서 etching, deposition 및 oxidation 프로세스에 이르기까지 다양한 응용 분야에 적합합니다. 첨단 기능 및 설계는 고정밀 (high-precision) 프로세스를 지원하며, 가장 정확하고 까다로운 플라즈마 처리 요구에 적합한 원자로를 만듭니다. 설계, 성능, 다용도를 모두 갖춘 695 의 독보적인 제품으로, 모든 애플리케이션에 적합한 솔루션이 될 수 있습니다.