Qty / Make / Model / Part number
(4) / AIXTRON / CRIUS II 530 / Middle part / 100137166
(3) / AIXTRON / CRIUS II 530 / Upper part /100115777
(6) / AIXTRON / CRIUS II 530 / Bottom part / 100001649
(4) / AIXTRON / CRIUS II 530 / Lower part / 100141968.
