판매용 중고 ULVAC ZX-1000 #9237353

ULVAC ZX-1000
제조사
ULVAC
모델
ZX-1000
ID: 9237353
웨이퍼 크기: 8"
PVD System, 8" (5) Chambers Preclean Al AlSi Loadlock.
ULVAC ZX-1000 (ULVAC ZX-1000) 은 산업 공정 뿐만 아니라 연구 개발 실험실에서 작동하도록 설계된 저전압 아크 원자로입니다. 장비는 작고 유연하며 100mm 직경의 챔버, 0.9kg 방전 아크, 초고속 진공을 포함한 고성능 속성을 제공합니다. 또한 20 ~ 3000mT를 포함하여 다양한 범위가 있으며, 가열 요소는 최대 1100 ° C입니다. ULVAC ZX 1000 원자로에는 뛰어난 안정성과 안전 기능을 제공하는 강력한 디자인이 있습니다. 자기장 을 이용 하여 "아아크 '를 만들고" 에너지' 방출 을 조절 하여 "아아크 '온도 를 증가 시키고 조절 한다. 이 "컨트롤 '은 가공 하는 물질 의 종류 를 정련 하는 데 사용 될 수 있으며, 더 높은 수율 과" 몰' 비율 을 얻는 데 사용 될 수 도 있다. 통합 가스 분석 시스템 (integrated gas analysis system) 은 대기 가스의 최적의 농도를 보장하기 위해 제공됩니다. ZX-1000에는 전원 공급 장치, 로드 잠금 장치 및 처리 챔버가 추가로 장착되어 있습니다. 원자로 (reactor) 가 경제적이면서도 신뢰할 수 있는 방식으로 작동하도록 전원 공급 장치 (power supply) 를 통해 사용자가 응용 프로그램에 가장 적합한 매개변수를 선택할 수 있습니다. 로드 잠금 기계는 대기 관리, 압력 제어 및 온도 조절을 최적화합니다. 또한, 공구가 높은 진공 상태뿐만 아니라, 최적의 기판 대기로 리필 될 수 있도록 합니다. 마지막으로, 가공 챔버는 반응에 대해 매우 통제 된 환경을 제공합니다. ZX 1000 (ZX 1000) 은 유연성을 위해 설계되었으며 빠른 스위칭, 안정적인 아크 방전 (stable arc discharge), 더 긴 작동 호 (operational arc) 및 원자로 메모리에 저장할 수있는 레시피를 미리 정의하는 옵션을 포함한 고급 기능을 갖추고 있습니다. 사용자 친화적 인터페이스는 사용자 환경에 더욱 편리하게 사용할 수 있도록 합니다. ULVAC ZX-1000 원자로는 안정적이고 에너지 효율적이며 비용 효율적인 아크 (Arc) 원자로를 필요로 하는 연구, 개발, 산업 공정에 이상적인 선택입니다. 고급 안전 기능, 다양한 운영 매개변수 (Operating Parameter) 및 프로세싱 챔버 (Processing Chamber) 를 통해 여러 응용 프로그램에서 사용할 수있는 다용도 자산입니다.
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