판매용 중고 ULVAC VPC-260 #9296182

ULVAC VPC-260은 일반적으로 플라즈마 공급원으로 사용되는 저전압 용량 방전 (CD) 원자로입니다. 이 유형의 원자로는 에칭, 증착, 표면 수정과 같은 프로세스에 이상적입니다. VPC-260에는 디지털 작업 컨트롤러 (DWC) 가 장착되어 있어, 사용자가 전압, 펄스 지속 시간, 커패시턴스 설정과 같은 프로세스 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. ULVAC VPC-260 챔버는 스테인리스 스틸과 니켈 도금 구리로 제작되었습니다. 원자로 상단의 쿼츠 창 (quartz window) 을 사용하면 플라즈마 상태를 실시간으로 모니터링할 수 있으며, 원자로 온도 범위 (30 ~ 200 ° C) 는 긴 공정 동안 과열을 방지하는 데 도움이됩니다. 또한 VPC-260에는 산드로 겐 가스를 챔버에 도입하기위한 에어록 메커니즘이 장착되어 있습니다. 공정 "가스 '가 주" 가스' 에 닿지 않기 때문 에 "에어록 '은 오염 의 위험 을 줄이는 데 도움 이 된다. ULVAC VPC-260은 이중 펄스 모드 (pulse mode) CD를 사용하여 플라즈마에서 높은 플럭스 이온 및 라디칼을 생성하고 낮은 입력 에너지에서 높은 전력을 생성합니다. 낮은 입력 에너지는 또한 다른 플라즈마 소스에 비해 원자로 전극의 마모 (wear-and-tear) 를 줄이는 데 도움이됩니다. VPC-260은 폴리 실리콘, 유리, 갈륨 비소와 같은 광범위한 기질과 호환되는 것으로 입증되었습니다. ULVAC VPC-260에는 가스가없는 작동이 있습니다. 즉, 업스트림 가스 취급 장비가 필요하지 않습니다. 이는 다양한 프로세스, 특히 공간 절약형 설계 (space-saving design) 와 손쉬운 운영 (operation) 으로 인해 실험실 설정에 이상적인 선택입니다. 전반적으로, VPC-260은 신뢰할 수 있고 다양한 CD 원자로로서, 다양한 플라즈마 응용프로그램 및 프로세스에 뛰어난 유연성을 제공합니다. 고출력, 낮은 입력 에너지, 가스없는 가스전 (gas-free operation) 으로, 이 원자로는 많은 응용 프로그램의 요구를 충족 할 수 있습니다.