판매용 중고 ULVAC SMD-950 #293821690

ULVAC SMD-950은 반도체, 광학, 재생 에너지와 같은 다양한 산업에서 고급 박막 증착 공정을 위해 설계된 최첨단 마그네트론 스퍼터링 장비입니다. 이 원자로는 고성능, 안정성, 확장성으로 유명하며, 박막 증착에서 정확한 제어 및 균일성 (unifority) 이 필요한 연구/생산 환경에 이상적인 선택입니다. SMD-950 (SMD-950) 의 중심에는 마그네트론 스퍼터링 (magnetron sputtering) 기술이 있는데, 이는 물리적 증기 증착 현상을 사용하여 얇은 필름을 기판에 증착시킵니다. 이 과정은 진공 챔버 (vacuum chamber) 에서 고에너지 이온을 갖는 표적 물질 (음극) 의 폭격을 포함하며, 표적의 원자를 분출하여 기판에 증착시켜 박막 층 (thin film layer) 을 만듭니다. 마그네트론 스퍼터링 (Magnetron Sputtering) 을 사용하면 필름 두께, 컴포지션 및 구조를 정확하게 제어할 수 있으며, 뛰어난 접착 및 성능 특성을 가진 고품질의 박막 (Thin Film) 으로 이어집니다. ULVAC SMD-950 의 주요 기능 중 하나는 멀티 타겟 (multi-target) 구성으로, 구성이 다른 복잡한 다중 계층 씬 필름을 증설할 수 있습니다. 이 기능은 특정 광 (optical), 전자 (electronic) 또는 기계적 (mechanical) 특성을 가진 고급 재료와 장치를 제작하는 데 필수적입니다. 이 "시스템 '은 여러 개 의" 마그네트론' 원 을 갖추고 있으며, 각각 다른 표적 재료 를 함유 하고 있어서 진공 상태 를 깨지 않고 여러 층 을 순차적 으로 증착 할 수 있다. 이러한 유연성은 고급 박막 (Thin Film) 응용 프로그램에서 프로세스 효율성과 일관된 필름 품질을 보장하는 데 중요합니다. 또한 SMD-950 은 고급 소프트웨어 제어 장치 (Software Control Unit) 를 통해 높은 수준의 자동화 및 반복 기능을 제공합니다. 연산자는 직관적인 사용자 인터페이스를 사용하여 증착률, 전력 밀도, 가스 흐름, 기판 온도 등의 증착 매개변수를 쉽게 프로그래밍하고 모니터링할 수 있습니다. 이 기계는 또한 석영 결정 미생물 (quartz crystal microbalances) 및 광학 방출 분광법 (optical emission spectroscopy) 과 같은 현장 모니터링 및 제어 메커니즘을 특징으로하여 필름 특성 및 프로세스 조건에 대한 실시간 분석을 가능하게합니다. 고급 기술 기능 외에도 ULVAC SMD-950 은 인체 공학, 안전, 유지 보수 등을 염두에 두고 설계되었습니다. 이 원자로에는 간편한 액세스 도어 (Access Door), 통합 안전 인터록 (Integrated Safety Interlock), 효율적인 운영 및 유지 보수를 위한 강력한 진공 펌핑 시스템 (Vacuum Pumping System) 과 같은 사용자 친화적 인 기능이 장착되어 있습니다. 이 도구는 특정 프로세스 요구 사항을 충족하고 전반적인 생산성을 향상시키기 위해 로드 잠금 챔버 (load-lock chamber), 기판 히터 (substrate heater), 플라즈마 클리닝 시스템 (plasma cleaning system) 과 같은 다양한 옵션 구성 요소로 사용자정의할 수 있습니다. 전반적으로, SMD-950은 성능, 다용성, 신뢰성 측면에서 마그네트론 스퍼터링 시스템의 새로운 표준을 설정합니다. 연구용 이나 생산 용도 에 사용 되든지 간 에, 이 원자로 는 박막 증착 과정 에 대한 비길 데 없는 제어 장치 를 제공 하여, 정확성 과 일관성 이 있는 고급 재료 와 장치 들 을 제작 할 수 있게 해 준다. "깨어라!" ( 최첨단 기술과 사용자 친화적 설계를 갖춘 ULVAC SMD-950 은 다양한 업계의 박막 (Thin Film) 기술 혁신을 촉진하는 데 유용한 툴입니다.