판매용 중고 ULVAC Mini-Lab #9313805
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ULVAC Mini-Lab Reactor는 매우 효율적이고 비용 효율적인 반도체 에칭 및 증착 장비로, 매우 정밀하게 고성능 회로를 만드는 데 사용할 수 있습니다. 이 "시스템 '은 소형 경량 장치 로서 실험실 과 생산 공정 에 이상적 이다. Mini-Lab Reactor는 저에너지 고속 폴리 펄스 소스, 광범위한 반응성 가스와 함께 작동하는 정밀 증착/에칭 모듈, 고밀도 자동 렌즈 스캐너 (Automated Lens Scanner) 를 갖추고 있습니다. 저에너지 폴리 펄스 소스는 전통적인 기술에 비해 더 균일 한 에칭 및 증착을 제공합니다. 이 에너지 효율 장치는 또한 위험하지 않은 화학 물질을 사용하여 안전하고 경제적입니다. 자동 렌즈 스캐너 (Automated Lens Scanner) 에는 최대 10 배의 줌 (Zoom) 으로 표본 표면을 검사할 수있는 확대/축소기가 장착되어 단일 이미지 캡처 동작으로 매크로 이미지와 마이크로 이미지를 모두 캡처합니다. 자동 렌즈 스캐너 (Automated Lens Scanner) 의 높은 정밀도를 통해 사용자는 결함을 신속하게 감지하고 필름 증착을 매우 정확하게 관찰 할 수 있습니다. ULVAC Mini-Lab Reactor의 다재다능성으로 인해 다양한 프로세스에 사용할 수 있습니다. 여기에는 에치 및 증착율 최적화, 프로세스 제어, 경우에 따라 필름 스트레스 이완이 포함됩니다. 또한, 이 툴은 우수한 프로세스 반복성 (process repeativility) 과 고도로 자동화된 워크플로우 (workflow) 를 제공하여 다양한 반도체 제조 어플리케이션에 이상적인 선택입니다. Mini-Lab Reactor 의 고급 설계를 통해 다양한 에칭 (etching) 및 증착 (deposition) 프로세스에서 뛰어난 성능을 제공할 수 있습니다. 또한 통합된 설계를 통해 다운타임을 최소화하고 유지 보수 작업을 간소화할 수 있습니다. 또한 높은 에너지 효율을 제공하도록 설계되었으며, 사용자는 전력 소비를 크게 절감할 수 있습니다. 전반적으로 ULVAC Mini-Lab Reactor는 강력하고 효율적이며 비용 효율적인 에칭 및 증착 자산을 찾는 사람들에게 탁월한 선택으로, 탁월한 정확성과 반복성을 제공합니다. 컴팩트한 디자인과 혁신적인 기능으로 인하여 실험실과 생산 공정 모두에 이상적인 선택이 됩니다 (영문).
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