판매용 중고 ULVAC EX-550 #9237177

ULVAC EX-550
제조사
ULVAC
모델
EX-550
ID: 9237177
Deposition system.
ULVAC EX-550은 다양한 재료 용융 및 코팅 용도에 사용되는 고성능 전자 빔 (EB) 진공 용융 원자로입니다. EX-550은 3 개의 챔버 (고 진공 챔버, EB 건 챔버 및 로드 록 챔버) 로 구성됩니다. 원자로는 최대 10 ~ 7mbar의 완전 작동 진공 (full operating vacuum) 이 가능하여 더 높은 전력 전자 빔을 사용할 수 있습니다. 전자 총은 전자 빔을 생성하는 데 사용되며, 최대 55kV 및 4A가 가능합니다. 총은 챔버 (chamber) 환경으로부터 분리되며, 필요한 경우 원자로에서 분리 될 수 있습니다. 고진공 챔버 (high-vacuum chamber) 는 작동 중 200 ° C 미만의 챔버의 온도를 줄이기 위해 활성 냉각 시스템을 갖추고 있습니다. ULVAC EX-550의 로드 락 챔버 (loadlock chamber) 는 다양한 재료 처리 작업을 위해 최대 1.0mbar까지 가압됩니다. EX-550의 높은 진공은 다양한 용융 및 코팅 작업을 가능하게합니다. EB 건은 풀 빔 균일성 (full beam unifority) 을 최적화하는 전력 수준 및 전달 방법을 위해 설계 될 수 있습니다. 원자로에는 고전압 전자빔과 "필라멘트 (Filament) '전원장치 (PPP) 를 발생시켜 전자를 발생시키는 고전압 전자빔이 장착돼 있다. 이렇게 하면 사용자의 특정 요구 사항에 맞게 시스템을 사용자 정의할 수 있습니다. 또한, ULVAC EX-550에는 빔 (beam) 의 불균일성을 보완하는 데 사용할 수있는 지체 잠재적 시스템이 장착되어 있습니다. EX-550은 안정적인 작동을 위해 설계되었으며 최대 8 시간 동안 생산할 수 있습니다. 최대 360 시간 동안 과밀하게 실행되도록 여러 테스트에서 검증되었습니다. ULVAC EX-550에는 진공 무결성 및 보호 시스템, 개인 안전 시스템 (예: 온도 및 출구 도어 시스템) 을 포함한 여러 안전 시스템이 있습니다. EX-550은 신뢰할 수 있고 높은 진공 및 효율적인 진공 용융로입니다. 이 도구는 다양한 재료 (materials melting) 및 코팅 (coating) 용도에 사용되며 사용자의 요구에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 전자 총은 최대 55kV 및 4A를 사용할 수 있으며, 원자로는 최대 360 시간의 작동을 확인했습니다. 안정된 운영을 위해 안전 시스템을 갖추고 있으며, 최대 10 ~ 7mbar 의 완전한 작동 진공이 가능합니다.
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