판매용 중고 ULVAC EX-550-C10 #9078375

ULVAC EX-550-C10은 다양한 응용 분야를 위해 다양한 재료를 매장하도록 설계된 고성능 플라즈마 강화 화학 증기 증착 (PECVD) 원자로입니다. 원자로는 단순하고 내구성이 뛰어난 스테인레스 스틸 챔버 (Stainless Chamber) 와 완전한 컴퓨터 자동화 (Computer Automation) 를 통해 사용이 간편하며 고품질의 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 원자로에는 최대한의 균일 성, 처리 속도 향상 및 레이어 품질 향상을 위해 최첨단 전자 사이클로트론 공명 (ECR) 플럼 봉투가 장착되어 있습니다. 고유 한 ECR 구성은 매우 균질 한 플라즈마 소스 (plasma source) 와 매우 통제 된 활기 넘치는 환경 (energetic environment) 을 가능하게하여 물질의 안정적인 핵화와 재료 특성의 더 나은 보존을 초래한다. 이 시스템은 최대 기판 온도 450 ° C에서 최대 5.7 "직경의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. ULVAC EX 550-C10은 실시간 플라즈마 이미징 및 온보드 광학 방출 분광법 (OES) 시스템을 포함한 광범위한 자동 플라즈마 진단 기능을 갖추고 있습니다. 이를 통해 플라즈마 (Plasma) 상태를 포괄적으로 모니터링하여 프로세스 생산량을 극대화하고 레이어 품질을 향상시킬 수 있습니다. 또한, GASBOX 가변 수준의 뒷면 가스 도입은 증착 속도를 더욱 최적화 할 수 있습니다. 이 원자로의 다른 특징으로는 고급 펄스 제어 (pulse control), 자동 챔버 클리닝 (automated chamber cleaning) 및 필름 두께 모니터가있는 솔리드 스테이트 발전기가 있습니다. 이를 통해 기판 난방 및 냉각, 기판 이동, 반복 가능한 프로세스를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 전반적으로 EX-550-C10 은 수많은 애플리케이션을 위한 고품질 필름 증설을 위한 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다.