판매용 중고 ULVAC EX-550-C10 #293830630

ULVAC EX-550-C10은 반도체 제조, 광학 코팅, 고급 재료 연구 등 다양한 응용 분야에서 고성능 박막 증착을 위해 설계된 최첨단 플라즈마 강화 화학 증기 (PECVD) 원자로입니다. 이 고급 도구 (Advanced Tool) 에는 필름 두께, 컴포지션, 속성을 정확하게 제어할 수 있는 고급 (Advanced) 기능과 기능이 탑재되어 있어 최첨단 기술 관련 연구자와 제조업체에게 이상적인 선택입니다. ULVAC EX 550-C10 의 핵심은 대용량 로드 잠금 (load lock) 장비로, 빠르고 효율적인 웨이퍼 로딩 및 언로드가 가능하며, 다운타임을 최소화하고 전반적인 처리량을 증가시킵니다. 이 시스템은 여러 기판을 동시에 처리할 수 있으며, 대용량 (대용량) 운영 및 효율성 향상을 지원합니다. 로드 잠금 (Load Lock) 설계는 또한 깨끗한 프로세스 환경을 유지하고 오염을 줄이고 필름 품질을 향상시키는 데 도움이됩니다. EX-550-C10 (EX-550-C10) 의 주요 특징 중 하나는 고급 플라즈마 생성 장치 (Plasma Generation Unit) 로, 고밀도 플라즈마 소스를 사용하여 필름 품질 및 증착률을 향상시킵니다. 이 기계에는 고출력 RF 발전기 (HF Generator) 와 기판 표면에 균일 한 플라즈마 분포를 보장하는 독특한 전극 디자인이 장착되어 있습니다. 결과적으로 균일성과 재현성이 뛰어난 고품질 필름이 만들어지며, EX 550-C10 (EX 550-C10) 은 필름 속성에 대한 정확한 제어가 필요한 까다로운 어플리케이션에 적합합니다. ULVAC EX-550-C10의 원자로 챔버 (reactor chamber) 는 부식 및 고온에 강한 고품질 재료로 구성되어 장기적인 신뢰성 및 가동 시간을 보장합니다. 약실 에는 고급 "가스 '전달 장치 와" 펌프' 장치 가 갖추어져 있어 "가스 '유속, 압력, 조성 등 공정 상태 를 정확 히 제어 할 수 있다. 이러한 제어 수준을 통해 사용자는 필름 속성을 특정 요구 사항 (예: 두께, 굴절률, 광학 속성) 에 맞게 조정할 수 있습니다. ULVAC EX 550-C10은 사용자 친화적 인 인터페이스를 제공하여 운영자가 배치 프로세스를 실시간으로 쉽게 프로그래밍하고 모니터링할 수 있습니다. 이 도구에는 광학 방출 분광학 (OES) 및 질량 분석법 (Mass Spectrometry) 을 포함한 고급 공정 모니터링 및 제어 기능이 장착되어 있으며, 이는 플라즈마 화학 및 필름 성장 메커니즘에 대한 귀중한 통찰력을 제공합니다. 이 정보를 사용하여 프로세스 매개변수를 최적화하고, 필름 품질과 성능을 향상시킬 수 있습니다. 결론적으로, EX-550-C10은 최첨단 PECVD 원자로로서, 광범위한 어플리케이션에서 박막 증착에 탁월한 제어 및 유연성을 제공합니다. 대용량 로드 잠금 자산, 고급 플라즈마 (Plasma) 세대 기술, 사용자 친화적 인터페이스 등을 갖춘 EX 550-C10 은 최신 리서치/제조 환경의 까다로운 요구 사항을 충족하는 다양한 툴입니다. ULVAC EX-550-C10은 반도체 장치 제작, 광학 코팅 (optical coating) 또는 재료 연구 (materials research) 를 위해 안정적이고 효율적인 선택으로, 특성에 대한 정확한 제어를 통해 고품질의 박막을 구현할 수 있습니다.