판매용 중고 ULVAC Entron-EX2 W300 #9314077

ULVAC Entron-EX2 W300은 반도체 장치 제조에 사용하도록 설계된 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 원자로에는 고효율, 일정한 온도, 낮은 NOx 이중 영역 버너가 장착되어 있어 프로세스 조건을 정확하게 제어 할 수 있습니다. Entron-EX2 W300에는 내부/외부 가스 혼합, 통합 매니 폴드, 긴 수명 흑연 감지기, 다양한 컨트롤러 등 다양한 기능이 장착되어 있습니다. 이러한 기능은 뛰어난 안정성과 재현성을 제공하여 고품질 필름 (film) 과 코어 셸 (core-shell) 및 멀티 레이어 증착 프로세스를 모두 구현할 수 있습니다. ULVAC Entron-EX2 W300을 사용하면 다양한 원하는 증착 레시피를 쉽게 만들 수 있습니다. Entron-EX2 W300은 한 번에 최대 4 개의 기판을 수용 할 수있는 '배치 유형' 챔버를 사용합니다. 내부 챔버 치수는 915mm (너비) x545mm (깊이) x 520mm 높이 (플랜지 포함) 이며 정확한 필름 증착을 위해 915mm x 545mm의 틸팅 서셉터 플레이트를 특징으로합니다. 감수판은 전체 기질에 걸쳐 열을 균등하게 분배하여, 방향 효과를 일으키지 않고 균일 한 필름 강착을 생성하도록 설계되었습니다. 캐비티는 또한 로우 프로파일 쿼츠 돔 (low-profile quartz dome) 과 중앙 장착 가스 입구 및 콘센트 (outlet) 를 특징으로하며, 처리 중 웨이퍼 주변의 산란 양을 줄입니다. 또한, ULVAC Entron-EX2 W300 원자로는 증착 프로세스를 효율적으로 최적화 할 수있는 다양한 솔루션으로 구성 될 수 있습니다. 예를 들어, Entron-EX2 W300에는 ULVAC coat-monitor-COG 시스템이 장착되어 있어 얇고 두꺼운 필름을 정확하게 측정할 수 있으며, 사용자가 기판 전체에서 일관되고 반복 가능한 증착을 달성할 수 있도록 도와줍니다. 또한, ULVAC Entron-EX2 W300에는 냉각 된 테일 셔터를 장착 할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 더 낮은 작동 온도와 더 높은 증착 수율을 얻을 수 있습니다. 전반적으로 Entron-EX2 W300은 다양한 반도체 장치 제작 프로세스를 수행 할 수있는 고성능 CVD 원자로입니다. 사용자 친화적 안전 측정 (Safety Measure) 과 함께 ULVAC 고급 기능을 사용하면 프로세스 효율성을 효과적으로 극대화하고 고품질 결과를 얻을 수 있습니다.