판매용 중고 ULVAC EBX-8C #9397455

ULVAC EBX-8C 는 단일 엔드 (Single-End), 배치 처리 (Batch Processing), 씬 필름 업계의 애플리케이션을 위한 반응성이 높은 장비입니다. 이 원자로는 결합, 스퍼터링, 박막 형성, 화학 증기 증착 (CVD) 및 플라즈마 강화 CVD (PECVD) 와 같은 광범위한 프로세스에 사용됩니다. 시스템의 고유한 그래픽 사용자 인터페이스 인 UwinTM (UwinTM) 을 사용하면 빠르고 쉬운 프로세스 매개변수 미리 보기가 가능합니다. EBX-8C는 300mm 개방형 전기 슬래그 샘플 챔버와 함께 마이크로 프로세서 제어, 300mm (1.2 ") 직경 반응 챔버를 특징으로합니다. 이 장치의 다중 프로세스 챔버 (multiple process chamber) 는 효율적이고 높은 처리량을 제공하며 환경 호환성을 제공합니다. ULVAC EBX-8C의 다중 영역 온도 관리 머신은 안정된 프로세스 매개 변수에서 고품질의 박막을 보장합니다. 조정 가능한 주파수 제어, 1300W 직류 RF 발전기도 EBX에 포함되어 있으며, 최대 300MHz의 튜닝 범위를 허용합니다. EBX-8C는 LCD 디스플레이에서 산소와 염소 질산염을 빠르게 모니터링하는 높은 정확도의 가스 피드 가스 분석 도구를 갖추고 있습니다. ULVAC 오리지널 자산 컨트롤러 (옵션) 는 공기 및 물 연동, 반응성 가스 흐름 측정, 이슬점 제어, 진공 및 압력 제어 등 다양한 정교한 제어 기능을 제공합니다. EBX에는 대피 된 전사 챔버와 로드 잠금 모델이 추가로 장착되어 있습니다. 이는 먼지가 없는 환경을 보장하며, 외부 환경에 대한 반응 챔버 (reaction chamber) 의 노출을 방지하므로 EBX는 결함이 적은 처리에 이상적인 선택입니다. ULVAC EBX-8C 는 또한 7 가지 주요 표준에 대한 EMC 의 호환성 테스트를 거쳤으며, 다양한 CE 애플리케이션에 대해 인증을 받았으며, 안전한 산업 애플리케이션에 적합합니다. 안전성을 보장하기 위해 EBX-8C는 ULVAC 시리즈의 다른 배치 스퍼터링 시스템과 많은 기능을 공유합니다. 여기에는 공기 및 물 연동 시스템, 긴급 종료 스위치 및 진공 연동이 포함됩니다. ULVAC EBX-8C의 20 가지 프로그래밍 가능한 기능 제어 장비 (Frammable Function Control Equipment) 를 사용하면 프로세스 요구에 맞게 원자로 매개 변수를 추가로 사용자 정의할 수 있습니다. 결론적으로, EBX-8C는 매우 생산적이고 다재다능한 반응성 시스템으로, 다양한 고정밀 박막 프로세스를 처리하도록 설계되었습니다. 다양한 고급 안전 (Safety) 기능과 정교한 프로세스 제어 시스템 (Process Control System) 이 결합된 독보적인 GUI (Graphical User Interface) 는 다양한 배치 처리 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.