판매용 중고 ULVAC EBX-10D #9102139
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ULVAC EBX-10D는 고출력 플라즈마 공정을 갖춘 다기능, 3 세대, EB 플라즈마 소스이며, 광범위한 중고 산업 응용 분야에 적합합니다. 이 원자로는 매우 고온 플라즈마를 생성 할 수 있습니다. 그것은 10 MeV의 에너지에서 전자 빔 (EB) 과 외부 공급 전자의 조합으로 구동됩니다. EBX-10D (저전압 전원 공급 장치) 는 매우 높은 전자 빔 가속 전원을 공급할 수 있습니다. ULVAC EBX-10D는 고출력 플라즈마 프로세스 외에도 스퍼터링, 에칭, 계층화, 반응성 이온 교환 종 생산 등 다양한 프로세스를 실행할 수 있습니다. 또한, EBX-10D 는 프로세스 제어와 최적화 향상을 위해 프로세스 단위로 사용자 지정 (customizility) 을 허용하는 매우 광범위한 제어 설정을 제공합니다. 안전성을 염두에 두고 설계되었는데, 긴급 연동 시스템 (Emergency Interlock System) 과 과전압 보호 (Overvoltage Protection) 기능을 갖추고 있기 때문입니다. ULVAC EBX-10D는 주 챔버 내에서 최대 15,000례의 온도를 달성 할 수 있습니다. 그것 은 "플라즈마 '의 형성 을 연속적 으로 볼 수 있도록" 챔버' 외부 에 석영 "윈도우 '를 갖추고 있다. 또한, 이 원자로는 환경 제어 시스템 (Environmental Control System) 을 갖추고 있어 프로세스 환경의 무결성을 더욱 쉽게 유지할 수 있습니다. EBX-10D 는 모듈식 설계 (modular design) 로 인해 적응력이 뛰어나며, 이를 통해 다양한 상호 교환 가능한 구성 요소를 마운트할 수 있습니다. 원자로에는 회전 모터 (rotation motor) 가 장착되어 있으며, 스퍼터링 또는 에칭 과정에서 기판을 회전시켜 더 균일 한 증착을 만듭니다. 또한, ULVAC EBX-10D (Ultra-High Throughput Design) 는 매우 높은 로드 용량을 가능하게 하며, 이를 통해 대용량 기판을 처리할 수 있는 원자로에 사용할 수 있습니다. EBX-10D는 비용 효율적이어서 산업 애플리케이션에 매력적입니다. 안전하고, 안정적이며, 신뢰성이 뛰어나므로, 다양한 산업 요구 사항을 완벽하게 충족할 수 있습니다. 광범위한 프로세스 (process) 를 효과적으로 관리할 수 있을 뿐만 아니라, 업계 프로세스 (industrial process) 에서 매우 중요한 커스터마이징 (customizability) 을 허용하는 뛰어난 수준의 제어 기능을 사용자에게 제공합니다.
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