판매용 중고 ULVAC EBX-10D #293621576

ULVAC EBX-10D는 행성 기어 형, 2 단계 터보 분자 진공 펌프 시스템으로, 원자로 기질 처리 중 고 진공 환경을 만들도록 설계되었습니다. EBX-10D는 행성 기어의 우수한 성능과 터보 분자 펌프 (turbomolecular pump) 를 결합하여 반도체, 광학 디스크, 디스플레이 산업에서 까다로운 진공 공정에 이상적인 선택입니다. ULVAC EBX-10D는 2 단계 스로틀 형 터보 펌프를 사용하여 3.2 x 10-2 Pa liter/s의 진공 펌핑 속도를 가능하게하여 5 x 10-7 Pa TM (Torr) 의 최고 압력을 초래합니다. 이는 가변 컨트롤러 (variable controller) 를 채택하여 EBX-10D를 동급의 다른 터보 분자 펌프 중에서 가장 빠르게 만듭니다. 가변 컨트롤러는 터보 펌프의 최대 회전 속도를 400 r/min (최대 1200 r/min) 에서 조정하여 뛰어난 유연성과 성능을 제공합니다. 또한, ULVAC EBX-10D에는 고성능 행성 감소 기어 (planetary reduction gear) 가 장착되어 있으며, 이는 터보 펌프 (turbo pump) 의 회전 입구 포트에서 토크 변동을 억제하여 진동을 줄일 수 있습니다. 이 기능은 모터 속도가 빠르게 변경되는 경우에도 안정된 작동을 보장합니다. 뿐 만 아니라, 행성 "기어 '는" 모우터' 의 소음 을 줄여 조용 한 수술 을 하고 "챔버 '내부 의 짐 을 줄인다. 또한, EBX-10D 는 가능한 한 간단하게 작동하고 유지 관리할 수 있도록 설계된 다양한 기능을 제공합니다. 내부 팬 어셈블리를 청소하기 위해 쉽게 제거할 수 있으며, 과열 (over-heating) 을 방지하기 위해 배기 온도를 모니터링합니다. "루브 '유 저수지 는 쉽게 접근 하여 보충 할 수 있으며" 컨트롤러' 는 "펌프 '의 외부 온도 와 내부 온도 를 모두 감시 한다. 또한 ULVAC EBX-10D에는 LCD (Liquid Crystal Display) 장치 및 안전 밸브 (Safety Valve) 와 같은 다양한 안전 기능이 포함되어 항상 사용자 안전을 보장합니다. 전반적으로 EBX-10D는 뛰어난 성능과 유지 관리 용이성을 제공하는 뛰어난 원자로 시스템입니다. 이 제품은 까다로운 진공 처리 (vacuum process) 에 이상적이며, 뛰어난 속도와 낮은 진동 기능으로 안정적이고 일관성 있는 작동을 보장합니다. 게다가, 현명한 안전 측정으로 인해 모든 원자로 시스템에 대한 최고의 선택이되었습니다.