판매용 중고 ULVAC EBS-10A #9053858

ULVAC EBS-10A는 박막 증착에 적합한 스퍼터링 장비입니다. 그것 은 반응 이 있는 "스퍼터링 '과정 에서 작용 하며, 따라서 표적 물질 을 진공" 펌프' 로 생산 한 진공 에 도입 한다. 대상은 고전압 전원에 연결되며, 전압이 걸리면 대상 재료가 스퍼터 (sputter) 됩니다. EBS-10A 는 자동화된 자체 설계 작동 패널을 갖춘 사용이 간편한 시스템으로, 사용자가 시간을 절약하고, 실험을 수행할 수 있도록 합니다. 이 작업은 장치에 구현된 자동화된 고급 명령 (high-level command) 및 자체 진단 (self-diagnosis) 기능을 통해 수행됩니다. 사용자 인터페이스에는 직관적인 그래픽 디자인과 간단한 탐색 명령이 있습니다. ULVAC EBS-10A는 큰 효과적인 증착 영역을 가지고 있으며, 기판에서 최대 13mm 박막을 생산할 수 있습니다. 3D 구조와의 최적의 호환성을 가능하게하는 3 총 병렬 DC-DC 반응성 스퍼터링 머신을 사용합니다. EBS-10A는 안정성 향상을 위한 컴팩트하고 강력한 디자인의 견고한 도구입니다. 이는 오랜 기간 동안 안정적이고 반복 가능한 박막 증착을 보장합니다. 이 자산은 또한 고가의 소모품없이 복잡한 씬 필름의 고품질 증착을 제공 할 수 있습니다. ULVAC EBS-10A는 고속 증착을 위해 오프 축 유형 스퍼터링 챔버를 사용합니다. 챔버에는 질량-흐름 컨트롤러 (mass-flow controller) 와 순환 플레 넘 (circulation plenum) 모델이 장착되어 있으며, 다양한 스퍼터링 가스 혼합물 및 속도와 큰 기판 용량이 가능합니다. EBS-10A에는 최적의 박막 증착을 위해 조정 가능한 매개 변수가 있습니다. 이 장비는 조정 가능한 압력과 온도를 가진 프로세스 영역 (process region) 을 특징으로하며, 이를 통해 모든 매개변수를 최적화하여 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 스퍼터링 가스 유형, 증착 원점, 전원 수준, 두께 등을 조정할 수 있습니다. ULVAC EBS-10A는 다양한 유형의 박막 증착 작업에 적합한 강력하고 다양한 시스템입니다. 유지 보수 (low-maintenance) 작업이 필요하고 다양한 제어 매개변수 (control parameter) 를 사용하여 최적의 결과와 품질 (quality result) 을 얻고자 하는 사용자에게 탁월한 선택입니다.