판매용 중고 ULVAC EBH-6 #9053833

'ULVAC EBH-6' 은 반도체 기판에서 박막 층을 정확하고 효율적으로 증착 할 수 있도록 설계된 PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 원자로의 고성능, 환경 친화적, 경제적 시리즈입니다. 이 일련의 원자로는 에너지 효율이 높고 작동 온도가 낮은 농축 플라즈마 (Enriched Plasma) 를 활용하여 일관되고 최적화 된 증착 결과를 제공합니다. 또한, EBH-6 시리즈는 산화물, 질화물 및 유기 박막을 포함한 무기 및 유기 공정을 효과적으로 퇴적시키는 데 사용될 수있다. ULVAC EBH-6 시리즈는 사용자가 증착 과정을 정확하게 제어 할 수 있도록 풍부한 기능을 제공합니다. 여기에는 실시간과 공정 후 증착 결과를 모두 측정하는 고정밀 쿼츠 모니터 (high-precision quartz monitor) 와 증착률 및 필름 두께에 대한 정밀한 에너지 제어를 위한 독특한 컴퓨터 제어 아크 바이어스 시스템 (computer-controlled arc bias system) 이 포함됩니다. 기본 제공되는 압력 제어 시스템 (Pressure Control System) 을 사용하면 압력, 온도, 가스 흐름 속도를 조정하여 최적의 프로세스 안정성과 반복 가능성을 보장할 수 있습니다. EBH-6 시리즈는 안전을 염두에두고 설계되었습니다. 모바일 알루미늄 인젝터 (mobile aluminum injector) 는 압력과 온도 조절, 지상 결함 보호 (ground fault protection) 와 같은 통합 안전 시스템과 함께 사용하기 쉬운 인터페이스를 제공합니다. 수냉식 전극 주변의 통합 패러데이 케이지 (Faraday Cage) 를 사용하면 플라스마에 의해 생성 된 EMI로부터 보호됩니다. 또한, 내장 안전 기능으로 인해 긴급 잠금 (Emergency Lockdown) 중에도 진공 시스템을 완전히 제어 할 수 있습니다. 또한 ULVAC EBH-6 시리즈는 여러 운영 모드를 제공하여 효율성과 비용 효율성을 최적화합니다. 여기에는 대기 모드 (Standby Mode) 와 에너지 절약 모드 (Energy Saving Mode) 가 포함되며, 운영자는 다른 작업에 대한 전력 소비량 및/또는 생산 속도를 크게 줄일 수 있습니다. 이러한 기능은 비용 절감과 관련하여 EBH-6의 경쟁력이 뛰어납니다. 전반적으로 ULVAC EBH-6 시리즈는 효율적이고 경제적인 박막 증착 솔루션을 찾는 사람들에게 이상적인 선택입니다. 고성능, 정밀성, 친환경 기능을 통해, 일관성 있는 고품질 결과를 제공하는 데 의존할 수 있습니다.