판매용 중고 ULVAC Deposition System #293759018

ULVAC 증착 장비 (ULVAC Deposition Equipment) 는 반도체 제조, 연구 및 개발 분야에서 정확하고 효율적인 박막 코팅 프로세스를 위해 설계된 최첨단 박막 증착 원자로입니다. 이 정교한 시스템은 고급 (advanced) 기술을 결합하여 두께, 균일성, 컴포지션과 같은 필름 속성에 대한 뛰어난 제어 능력을 갖춘 고품질 필름을 증착할 수 있습니다. 증착 장치 (Deposition Unit) 의 주요 특징 중 하나는 다용도이며, 금속, 산화물, 질화물 및 기타 박막 재료를 포함한 광범위한 재료를 증착 할 수 있습니다. 이러한 유연성은 PVD (physical vapor deposition) 및 CVD (chemical vapor deposition) 와 같은 다양한 증착 기술의 조합과 필름 특성을 특정 요구 사항에 맞게 조정하는 플라즈마 강화 기술을 통해 달성됩니다. ULVAC 증착기 (ULVAC Deposition Machine) 의 원자로 챔버는 필름 증착 공정을 위해 통제 된 환경을 제공하도록 설계되었습니다. 이 챔버 (Chamber) 는 높은 진공 환경을 만들고 유지하기 위해 여러 개의 고품질 진공 펌프를 갖추고 있으며, 불순물을 최소화하고 퇴적된 필름의 순도를 보장하는 데 필수적입니다. 이 도구는 또한 정확한 온도 조절 시스템 (temperate control systems) 을 특징으로하여 증착 조건을 최적화하고 필름 품질을 향상시킵니다. 또한, Deposition Asset에는 고급 모니터링 및 제어 시스템이 장착되어 있어 증착률, 필름 두께, 컴포지션 등 중요한 매개변수를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 이러한 모니터링 시스템은 배치 (deposition) 프로세스를 정확하게 제어하여 사용자가 원하는 필름 속성을 일관되게 달성할 수 있도록 합니다. 이 모델은 또한 로봇 기판 처리 장비 (Robotic Substrate Handling Equipment) 를 갖추고 있어 기판의 로드 및 언로드를 자동화하여 다운타임을 줄이고 전반적인 효율성을 향상시킬 수 있습니다. 이 자동화 기능은 시스템의 처리량을 향상시키고, 운영자의 개입을 최소화하면서, 대용량 씬 필름 (Thin Film) 을 생산할 수 있게 해 줍니다. 또한, ULVAC 증착 장치 (ULVAC Deposition Unit) 는 증착 대기를 정확하게 제어 할 수있는 정교한 가스 흐름 제어 시스템을 갖추고 있으며, 화학량 론과 구성 제어 (composition control) 와 같은 원하는 필름 특성을 달성하는 데 필수적입니다. 이 기계는 또한 플라즈마 강화 공정 (plasma-enhanced deposition process) 을위한 고급 플라즈마 소스를 특징으로하며, 박막 증착 공정에 또 다른 수준의 제어 및 사용자 정의를 추가합니다. 전반적으로, 증착 도구 (Deposition Tool) 는 광범위한 박막 증착 응용 프로그램에 탁월한 제어, 다용도 및 효율성을 제공하는 최첨단 박막 증착 원자로입니다. 첨단 기술과 기능을 갖춘 이 자산은 반도체 제조, 연구, 개발에 이상적이며, 이때 필름 (film) 속성에 대한 정확한 제어가 최적의 장치 성능 및 신뢰성을 달성하는 데 필수적입니다.