판매용 중고 THOMAS SWAN / AIXTRON CCS #293630290

ID: 293630290
웨이퍼 크기: 2"-6"
MOCVD System, 2"-6".
THOMAS SWAN/AIXTRON CCS는 화합물 반도체 산업 내에서 복잡하고 복잡한 물질의 증착을 위해 특별히 설계된 최첨단 복합 반도체 원자로입니다. AIXTRON CCS는 PI 제어 폐쇄 사이클 작업을 통해 정확하고 반복 가능한 접촉, 피쳐, 패턴을 만들 수 있도록 안전한 수준의 플럭스 제어 (flux control) 를 제공합니다. 이러한 보안 수준의 플럭스 제어는 THOMAS SWAN CCS 고유의 분기 경로 (branched-path) 아키텍처에서 제공하는 직접 열 흐름 제어 때문입니다. 또한, CCS는 광범위한 제어 가능한 프로세스 매개 변수를 자랑하며, 이를 강력한 증착 도구로 만듭니다. 최대 1000 ° C의 온도와 최대 4000 Torr의 압력을 제공하여 광범위한 정밀 결정 및 필름 침전물을 제공합니다. 또한, 공정 가스 전달은 THOMAS SWAN/AIXTRON CCS의 우수한 가스 전달 네트워크를 통해 정확하게 변조 및 모니터링됩니다. 공정 "가스 '의 압력, 온도, 흐름 을 제어 하면, 원하는 침전물 을 정확 히 알 수 있다. 또한 AIXTRON CCS에는 고급 광학/도량형 분석 도구가 장착되어 있어 인라인 (in-line) 생산 결과를 손쉽게 모니터링하고 기록할 수 있습니다. 광학 방출 분광법 (OES) 및 실시간 탄력성 기반 레이어 두께 측정과 같은 기능을 통해 프로세스를 실시간으로 제어할 수 있으며, 복잡하고 복잡한 기능을 다시 만들 수 있습니다. 결론적으로, THOMAS SWAN CCS는 화합물 반도체 재료의 증착을위한 강력하고 매우 정밀한 원자로입니다. 보안 수준의 플럭스 제어 (flux control) 및 제어 가능한 프로세스 매개변수 (controllable process parameters) 를 통해 복잡하고 복잡하며 정확한 예금을 만들 수 있으며, 광학 및 도량형 분석 도구를 통해 실시간 제어 및 생산 프로세스 모니터링이 가능합니다.
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