판매용 중고 THOMAS SWAN / AIXTRON CCS #293630289
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THOMAS SWAN/AIXTRON CCS는 다양한 반도체 필름을 제조하도록 설계된 플라즈마 강화 화학 증기 증착 (PEVCD) 원자로입니다. AIXTRON CCS 원자로는 와이드 보어 (wide-bore) 시스템을 사용하여 대규모 증착 영역을 제공하여 다양한 응용프로그램을위한 다양한 필름을 생산할 수있는 시스템 유연성을 제공합니다. 와이드 보어 시스템은 또한 높은 처리량과 고밀도의 필름 두께 제어를 허용합니다. THOMAS SWAN CCS에는 UHF (Ultra High Frequency) 무선 주파수 (RF) 소스와 플라즈마 이온화 소스가 장착되어 필름을 만드는 데 사용되는 증착 반응을 흥분시킵니다. UHF 소스 (source) 는 기질과 RF 소스 사이에 교대 전기장을 만들어 내고, 이어서 플라즈마가 이온화되고 반응성 물질을 기판에 증착시킨다. UHF 소스 외에도 CCS에는 지속 된 플라즈마 점화를 수행하는 고출력 직류 (DC) 소스도 포함되어 있습니다. DC 소스는 플라즈마 형성을 유지하는 데 도움이되는 장기 전기장을 만들기 위해 노력합니다. 또한 일관된 플라즈마 이온화, 이온 에너지 및 증착률을 보장합니다. 또한, DC 소스는 매우 낮은 기판 온도를 허용하며, 이는 증착 중 기판 손상 위험을 줄이는 데 도움이됩니다. THOMAS SWAN/AIXTRON CCS에는 증착 가스에 대한 다중 입구가 있으므로 전구체 재료의 제어 및 가변 농도를 허용합니다. 가스 입구 (gas inlet) 에는 더 균일 한 필름 증착을위한 전구체 재료의 더 균일 한 전달을위한 샤워 헤드 노즐 (shower head nozzle) 도 포함되어 있습니다. 또한, AIXTRON CCS에는 하단 업 타입 서셉터 (bottom up-type susceptor) 가 포함되어 기판을 일관된 온도 및 압력으로 유지하여 필름 전체에서 균일 한 증착을 보장합니다. 토마스 스완 (THOMAS SWAN) CCS 원자로는 사용자 친화적이며, 고급 프로세스 제어는 사용자가 신뢰할 수 있고 반복 가능한 결과를 제공합니다. CCS 원자로는 기술적으로 진보 된 박막 (thin film) 을 생산하는 데 적합하며 트랜지스터, 태양전지 등 다양한 반도체에 적합합니다.
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