판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Triase+ #293762161

TEL/TOKYO ELECTRON Triase + 는 비정질 및 미세 결정 실리콘 박막 태양 전지 생산을 위해 설계된 최첨단 원자로입니다. 원자로는 업계 최고의 결과를 달성하는 정확하고 통제 된 환경을 제공합니다. TEL Triase + 는 3 단계, 다중 단계 열 프로세스를 특징으로하여 정밀한 온도 조절과 매우 균일하고 반복 가능한 프로세스를 제공하는 빠르고 균일 한 가열을 가능하게합니다. 원자로는 또한 반응 구역의 균일 한 조사 (irradiation) 를 보장하기위한 특수 빔-쉐이핑 광학 장비 (beam-shaping optics equipment) 와 기질의 온도가 기질 전체에서 균질하게 유지되도록 다중 파장 적외선 가열 시스템을 갖추고 있습니다. TOKYO ELECTRON Triase + 에는 다중 소스 피드 가스 장치 (source-feed gas unit) 가 장착되어 여러 가스를 동시에 도입하여 반응 대기를 보다 정확하게 제어하고 더 균일 한 프로세스를 만들 수 있습니다. 또한 활성 안전 장치 (active safety machine) 가 있으며, 비정상적인 난방 또는 냉각 상황이 발생하면 원자로를 폐쇄하도록 설계되었습니다. 원자로 (reactor) 는 또한 고급 프로세스 제어 자동화 기능을 제공하여 사용자의 프로세스 요구 사항에 맞게 레시피를 사용자 정의할 수 있습니다. 또한 직관적이고, 사용자 친화적인 인터페이스를 통해 프로세스 매개변수를 손쉽게 작동하고 모니터링할 수 있습니다. Triase + 의 반응 챔버는 생산 된 박막의 최적의 균일성을 보장하도록 설계되었습니다. 반응 챔버에서 잘 균형 잡힌 유속, 저압 범위, 최적화 된 온도 분포가 특징입니다. TEL/TOKYO ELECTRON Triase + 는 고유한 설계 기능으로 인해 유연성과 안정성이 향상되었습니다. TEL Triase + 는 효과적이고 효율적인 원자로이며, 생산률, 제어 가능한 조건 및 균일 한 공정 결과를 제공합니다. 전체적으로 TOKYO ELECTRON Triase + 원자로는 매우 정확하고 사용자에게 친숙한 자산을 제공하여 고품질의 박막 태양 전지 재료를 생산합니다. 원자로 (Reactor) 는 매우 작은 패키지의 최대 효율성을 위해 만들어졌으며, 생산 과정에서 높은 수준의 균일성을 유지하고, 선택한 프로세스 매개변수 내에서 신뢰할 수있는 작동을 유지합니다.