판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Triase+ #293628645

TEL (TOKYO ELECTRON) TEL/TOKYO ELECTRON Triase + 는 공정 장비의 주요 제조업체 인 TEL/TOKYO ELECTRON이 생산 한 고급 반도체 중심의 수직로 원자로입니다. TEL Triase + 는 이전 모델인 수직 용광로 (Vertical Furnace) 원자로에 비해 여러 가지 향상된 기능을 포함하는 저용량 및 대용량 생산에 이상적인 다목적 도구입니다. TOKYO ELECTRON Triase + 에는 개선 된 흑연 챔버 디자인 (Improved Graphite Chamber Design) 및 이중 영역 온도 제어를 통한 향상된 웨이퍼 온도 제어 (wafer temperature control) 와 같은 몇 가지 고유 한 기술이 통합되어 온도 균일성을 극대화합니다. 개선 된 흑연 챔버 디자인 (Improved Graphite Chamber Design) 은 웨이퍼 표면에서 가스 흐름과 온도 균일성을 증가시켜 더 적은 주기에서 수율을 증가시킵니다. 이중 영역 온도 제어 (double-zone temperon control) 는 상하 챔버 온도와 하부 챔버 온도를 독립적으로 제어하여 오버 코트 균일 성 (overcoat unifority) 및 밀도가 향상됩니다. Triase + 는 또한 TEL 독점 자동 암 플레이트 (Automated Arm Plate) 조정을 통해 웨이퍼 높이를 자동으로 조정하여 인건비를 줄이고 처리량을 증가시킵니다. TEL/TOKYO ELECTRON Triase + 의 APC (Adaptive Process Control) 장비는 정확하고 일관된 프로세스 제어를 제공합니다. APC를 사용하여 사용자는 레시피 요구 사항에 맞게 지정된 특정 이중 챔버 온도 프로파일을 설정할 수 있습니다. 이 시스템은 열 지연 (thermal lag) 이나 다른 웨이퍼 크기 (wafer sizes) 와 같은 요인으로 인한 프로세스 변동에 대한 보상을 위해 레시피를 자동으로 조정할 수 있습니다. TEL Triase + 는 쉽게 작동할 수 있도록 설계되었으며, 프로세스 애플리케이션 측면에서 높은 수준의 유연성을 제공합니다. 사용자는 통합 레시피 편집기 (Integrated Recipe Editor) 를 통해 특정 프로세스에 대한 사용자 정의 레시피를 만들고 편집할 수 있으므로 주기 시간이 단축됩니다. TOKYO ELECTRON Triase + 는 또한 액티브 냉각 장치 (active cooling unit) 및 온보드 퍼니스 챔버 배기 기계 (integrated furnace chamber exhaust machine) 와 같은 안전 기능이 증가하여보다 안전한 작업 환경을 제공합니다. 전반적으로 Triase + 는 반도체 제조업체를위한 귀중한 도구입니다. 첨단 기술과 혁신적인 기능을 통해 저용량 (low-volume) 생산 프로세스와 대용량 (high-volume) 생산 프로세스 모두에 이상적인 선택이 가능합니다. 유연한 프로세스 제어 (process control) 및 레시피 에디터 (recipe editor) 와 향상된 안전 기능을 통해 모든 시설에 귀중한 자산이 될 수 있습니다.