판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Triase+ SPA #9252463

TEL/TOKYO ELECTRON Triase + SPA는 나노 구조 및 박막 성장을위한 특수 원자로입니다. 이 원자로는 TEL 고급 혈장 증기 증착 (CVD) 시스템 중 하나입니다. 저온 습식, 열 및 대기 공정, 뛰어난 품질로 최대 5nm/minimal까지 필름 증착률을 제공합니다. 특허를받은 TEL Triase + SPA 디자인은 나노 구조 필름과 매우 훌륭한 기능을 가진 초소형 표면의 생산을 가능하게합니다. TOKYO ELECTRON Triase + SPA에는 플라즈마를 최적으로 제어하는 독특한 평면 마그네트론 디자인이 장착되어 있습니다. 이를 통해 순수하고 낮은 결함 밀도 필름을 효율적이고 재현 가능한 생산이 가능합니다. 또한, 이 장비에는 다른 증착 응용에 대해 기판을 20 ° C ~ 500 ° C로 가열할 수있는 Thermal Source 키트도 있습니다. 트리아제 + SPA (Triase + SPA) 는 직경이 최대 8 인치인 기판을 처리 할 수 있으며 알루미늄 열 차폐기를 공급하여 균일 한 샘플 온도를 보장하고 의도하지 않은 샘플의 증발을 방지합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Triase + SPA는 저온 습식 청소 프로세스에도 사용할 수 있습니다. 이 시스템에는 습식 클리닝 솔루션 (wet cleaning solutions) 을 제어하기위한 원심 분리기, 저수지 및 매니 폴드 전달 장치가 장착되어 있습니다. 또한, 기계는 또한 RTA (rapid thermal annealing), 산화, 질극 및 기질의 인산화와 같은 대기 및 건조 가공이 가능합니다. TEL Triase + SPA는 나노 구조 및 박막 제작을위한 효율적이고 강력한 도구입니다. 안정적이고 재현 가능한 공정 성능으로 고품질 필름 제작이 보장됩니다. 게다가, 이 도구의 고급 제어 기능은 자산 운영 중에 최적의 기판 및 가스 균일성을 제공합니다. 이것은 원자로를 다양한 증착 및 어닐링 응용 분야에 사용하기에 이상적입니다.