판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Triase+ EX-II Ti/TiN #9252460

TEL Triase + EX-II Ti/TiN은 반도체 산업에서 널리 사용되는 고급 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 초소형 전자 장치 제작에 필수적인 뛰어난 커버리지와 스텝 커버리지를 갖춘 초박막 (Ultra-Thin Film) 을 배치하도록 설계되었습니다. Triase + EX-II Ti/TiN 원자로에는 고급 고출력 기능과 기능이 장착되어 있습니다. 여기에는 반응물 가스의 온도, 밀도 및 에너지 분포를 제어하기위한 고출력, 고주파 전자 사이클로트론 공명 (ECR) 플라즈마 소스가 포함되어 있으며, 재료 구성, 필름 두께, 속도, 형태학, 곡물 크기 및 표면 거칠기. 또한, 원자로는 넓은 공정 창으로 설계되어 여러 필름 (film) 을 증착 할 수 있습니다. Triase + EX-II Ti/TiN 원자로는 또한 고효율 난방 구역 기술을 갖추고 있으며 최대 960 ° C의 공정 온도를 허용합니다. 이 향상된 열 제어 (Thermal Control) 는 낮은 열 예산 제한을 유지하면서 정확하고 정확한 증착 성능을 보장합니다. 이 장비는 또한 증착 과정을 간소화하고, 챔버 구성 요소에 대한 스트레스를 최소화하고, 시스템 수명을 향상시키기 위해 사용하기 쉬운 제어 소프트웨어 (Control Software) 와 챔버 자동화 (Chamber Automation) 를 갖추고 있습니다. 원자로는 신뢰할 수있는 작동과 뛰어난 영화 품질로 유명합니다. Ti/TiN 필름의 증착은 초소형 치수에서도 가능하여 사용자가 최고 수준의 장치 제작을 달성 할 수 있습니다. 이 원자로 장치는 또한 뛰어난 단계 범위가 있으며, 고성능 상호 연결 (interconnect) 및 접촉 (contact) 생산에 필수적입니다. TOKYO ELECTRON Triase + EX-II Ti/TiN은 우수한 Ti/TiN 필름을 생산하기위한 신뢰할 수있는 고품질 증착 원자로 기계입니다. 첨단 기능, 정밀한 필름 증착 기능을 통해 가장 까다로운 반도체 응용프로그램에 이상적인 선택이 됩니다.