판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Triase+ EX-II Ti/TiN #293802350

TEL Triase + EX-II Ti/TiN은 TOKYO ELECTRON이 설계 및 생산 한 다용도 온도 조절 무코리스 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 전통적인 CVD 시스템과 관련된 오염을 피하면서 질화티타늄 (titanium nitride) 의 두꺼운 또는 얇은 균일 한 필름을 생산하기에 적합한 고성능 원자로입니다. EX-II는 고정밀 온도 컨트롤러를 장착하여 0 ° C ~ 1500 ° C의 필름 성장 온도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 코리스 (coreless) 디자인은 또한 로우 프로파일 (low-profile) 설치와 가스 균일성을 향상시키는 한편 다른 시스템에 비해 더 나은 열 균일성을 제공합니다. 원자로는 안정적이고 일관된 가열 환경을 보장하는 1000 와트 가열 요소로 구동됩니다. 이것은 균일 한 가스 환경과 결합되어 Ti/TiN 필름이 일관되게 두껍거나 얇고 최적의 전기 특성을 제공하는 방법입니다. 온도 제어기는 또한 더 나은 온도 안정성, 정확성을 보장하며, 입자 형성 및 유지력 향상, 증착 결함 감소 등을 초래합니다. EX-II Ti/TiN 원자로도 효율성이 높으며, 폐기물이 제로이며 추가 냉각 장비가 필요하지 않습니다. 또한 수소, 아르곤 및 질소 혼합물과 같은 다양한 가스와 호환됩니다. 원자로는 박막 트랜지스터 제작, 전자 포장, 고출력 관리, 전계효과 트랜지스터 등 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON Triase + EX-II Ti/TiN은 질화 티타늄의 균일 한 필름을 생산하기위한 이상적인 CVD 원자로이며, 뛰어난 온도 조절 및 에너지 효율성을 제공합니다. 시스템의 코리스 (Coreless) 디자인은 로우 프로파일 (Low-Profile) 설치에 적합하며, 탁월한 정확도로 일관된 필름 성장 온도를 제공합니다. 원자로의 효율적인 설계는 또한 추가 냉각 장비 (cooling equips) 가 필요하지 않으며, 다양한 가스와 호환됩니다. EX-II Ti/TiN을 사용하면 증착 결함이 적은 뛰어난 박막 속성을 얻을 수 있습니다.