판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Triase+ EX-II Ti/TiN #293638914

TEL Triase + EX-II Ti/TiN은 산업용으로 설계된 원자로입니다. 산화, 환원, 에칭, 증착 및 표면 처리와 같은 화학 과정을 수행하는 데 사용됩니다. 그것은 각진 거울 구성 (angled mirror configuration) 을 특징으로하는 24-플라즈마 음극 챔버 (plasma cathode chamber) 를 특징으로하며 넓은 지역에 걸쳐 증착률과 두께를 균일하게 허용합니다. 챔버에는 가스가 단단한 세라믹 절연 벽이 있으며, 열 조절 및 낮은 증발 속도를위한 선택적인 세라믹 뚜껑이 있습니다. 6 방향 조정 가능한 가스 제어 밸브는 총 25 개의 공정 가스를 제공 할 수 있으며, 최대 32 개의 가스에 대한 흐름 제어가 가능합니다. 최대 500W의 출력을 가진 이중 독립 RF 생성기는 증착 및 표면 처리의 균일성을 위해 매끄럽고 반복 가능한 프로세스를 보장합니다. Triase + EX-II는 사전 설치된 프로세스 레시피, 고급 진단 기능 및 시각적 모니터링을 통해 고급 소프트웨어 제어를 제공합니다. 장치 모니터 및 지원 응용 프로그램은 프로세스 안정성과 기판 품질 관리를 제공 할 수 있습니다. 데이터 수집 장비는 실시간 프로세스 정보 및 데이터 로깅 기능을 제공합니다. 또한 원격 액세스 (옵션) 및 레시피 빌더 기능이 있는 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 제공합니다. Triase + EX-II는 Class-1 클린 룸 조건에서 작동하도록 설계되었으며, 인증 된 가스 관리 장치, 안전 인터 록 및 고급 안전 기능이 제공됩니다. 고급 프로세스에 필요한 고온을 유지하도록 설계되었으며 비활성 환경 (최대 200 ° C) 과 고압 환경 (최대 5 Torr) 에서 작동 할 수 있습니다. 또한, 자동 장벽 챔버 클리닝 머신은 오염 위험없이 여러 레이어 두께 증착을 수행 할 수 있습니다. 요약하면, TOKYO ELECTRON Triase + EX-II Ti/TiN은 고급 화학 공정을 수행하도록 설계된 산업 원자로입니다. 다양한 가스 제어 시스템, 이중 RF 발전기, 고급 소프트웨어 제어 및 원격 액세스 (옵션) 가 특징입니다. 클래스 1 (Class-1) 청소실에 사용되도록 설계되었으며 안전 및 품질을 보장하기 위해 안전 인터 록 (Safety Interlock) 과 고급 안전 기능이 장착되어 있습니다.