판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON NT333 #293659316

TEL/TOKYO ELECTRON NT333은 연구 응용 프로그램 및 고급 장치 생산을 위해 설계된 최첨단 에피 택시 원자로입니다. TEL NT-333 원자로는 고효율의 설계와 작은 설치 공간을 결합해 생산부하에 원활하게 통합할 수 있게 해 줍니다 (영문). 수동 또는 로봇 로딩 및 언로드로 모든 표준 웨이퍼 크기 (2 "~ 8") 를 처리 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON NT 333은 이중 기판 히터 챔버를 특징으로하며 최대 1,200 ° C의 최대 온도까지 기판을 가열 할 수 있습니다. 광학 피로미터 및 온도 조절 시스템은 증착주기 동안 정확성과 반복 성을 보장합니다. 또한, NT333은 저압 동적 제어 (Dynamic Control) 를 가능하게하여 증착율 및 균일성을 정확하게 제어 할 수있는 독특한 가스 전달 장비의 이점을 제공합니다. 원자로는 또한 고급 전원 공급 모듈 (advanced power supply module) 을 특징으로하며, 여기서 전극 RF 전원을 프로그래밍하여 온도 및 레이어 두께를 제어할 수 있습니다. NT-333에는 고급 버전의 TEL E-VHS "액티브 챔버 클리닝" 시스템이 장착되어 있습니다. 이 장치는 프로세스 상태 변화에 빠르고 효율적인 반응 시간을 제공합니다. 즉, 챔버 오염으로 인한 처리량 수준 향상, 재생성 문제 (reprodibility issue) 감소 등의 효과를 제공합니다. TOKYO ELECTRON NT-333은 또한 새로 추가 된 마이크로 입자 여과기를 특징으로하며, 입자 수준이 낮아지고 웨이퍼 수율이 개선 된 안정적인 프로세스를 제공합니다. 마지막으로, TEL NT333은 종합적인 환경 모니터링 도구를 제공하여 가스 압력, 온도, 무선 주파수 전력, 온도 분배, 압력 분포 등 다양한 Prameter에 대한 실시간 데이터를 제공합니다. 이 데이터를 분석하면 엔지니어가 어떤 이상도 쉽게 파악할 수 있고, 정확한 스펙트럼 데이터 수집 (Spectral Data Collection) 을 위한 플랫폼 (Platform) 을 제공하여 프로세스 최적화 및 프로세스 수익률 향상을 촉진할 수 있습니다.