판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON / NEXX Nexx #9184468
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판매
ID: 9184468
빈티지: 2010
Cu Tank power supply
Manufacturer: LUMINA POWER INC
P/N: 11001186A Rev 6
Input voltage: 100 – 240VAC ~ 50/60Hz
Input current: 15A @ 100VAC
2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON/NEXX Nexx TEL은 일종의 화학 원자로입니다. 균일 한 열 소산 기능을 갖춘 배치 형 반도체 제조 원자로입니다. 원자로는 실리콘 산화물 에칭 시스템 (silicon oxide etching system) 을 갖추고 있으며 내구성이 높고 부식 내성이있는 재료로 만들어져 있으며, 저온 반도체 소자 제작 공정 모두에 적합합니다. 또한 균일 한 열 소산 층 (heat dissipation layer) 이 특징이며, 반응로 내에서 균일 한 온도 조절이 가능하여 정확하고 효율적인 장치 제작에 이상적입니다. 원자로는 유지 보수 요구 사항이 낮아 안정성이 높도록 설계되었습니다. 또한 유지 보수가 불가능하여 다운타임과 비용이 최소화됩니다. 합금 된 스테인리스 스틸과 경량 알루미늄으로 구성됩니다. 이를 통해 원자로 (reactor) 를 이동이 쉽고 내구성이 뛰어나 기기 제작 (device fabrication) 프로세스를 장기적으로 사용할 수 있습니다. 원자로에는 여러 개의 액세스 포인트 (access point) 가 있어 모든 생산 환경에 쉽게 배치 할 수 있습니다. 이것은 무중단 운영 및 높은 처리량을 보장하기 위한 중요한 기능입니다. 원자로는 또한 집적 입자 필터 시스템 (integrated particle filter system) 을 갖추고 있으며, 이를 통해 원자로에서 깨끗하고 건조한 배기 공기가 방출 될 수 있습니다. 이를 통해 고객에게 고품질 (High Quality) 제품을 제공할 수 있고 디바이스 제작 시 오염의 위험이 낮아집니다. TEL Nexx 원자로에는 긴급 차단 시스템, 경보 경보 시스템, 온도 센서 등 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 그 결과, 원자로 는 환경 이나 상태 에 관계 없이 안전 하고 안전 하게 작동 한다. 원자로 (Reactor) 는 다양한 미디어 레시피를 수용 할 수 있으며, 다양한 공정 기술과 호환됩니다. 여기에는 화학 증기 증착, 스퍼터링, 승화, 에칭 등이 포함됩니다. 이 원자로는 고품질 반도체 장치를 제작해야 하는 사람에게 이상적입니다. 높은 신뢰성, 낮은 유지 관리 요구 사항, 안전 기능을 갖춘 NEXX 넥스 (NexX Nexx) 원자로는 모든 유형의 디바이스 구성 프로세스에 적합한 선택입니다.
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