판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON MB2-720 #9394396

TEL/TOKYO ELECTRON MB2-720은 고효율 반도체 웨이퍼 제조 공정 원자로입니다. 반도체 산업에 사용되는 금속, 산화물, 질화물 및 기타 물질의 처리를 위해 설계되었습니다. TEL MB2-720 원자로는 최적의 프로세스 매개변수 및 저전압 증착율을 전달하기 위해 신뢰할 수있는 다중 레벨 전자 빔 가속기를 사용합니다. 원자로는 다른 기존 원자로에 비해 작동 온도가 낮으며, 증착 중에 더 많은 유연성과 정밀도를 제공합니다. 다단계 전자 빔 가속기 (multi-level electron beam accerlerator) 는 더 높은 선형 가속 속도를 제공하여 처리 시간을 단축시킬 수 있습니다. 빔 모양과 각도는 최적의 균일성 (unifority) 과 증착 (deposition) 특성에 맞게 최적화되며, 빔을 제어하여 처리량 및 증착 제어를 최적화할 수 있습니다. 이 장비는 또한 프로세스에 대한 피드백을 제공하는 자동 모니터링 시스템을 갖추고 있습니다. 이를 통해 최적의 재료 활용도와 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. TOKYO ELECTRON MB2-720 원자로는 공정 챔버의 대기 압력 변화를 생산 중 균일 한 증착을 향상시키는 하나의 방법으로 사용합니다. 이것은 기판 위치와 기판 온도 사이의 변화를 줄이는 데 도움이됩니다. 이 장치는 또한 증착 과정을 정확하게 제어하기 위해 에너지 분배 범위가 좁은 전자 (electron) 와 이온 (ion) 을 생성 할 수있는 저에너지 전자 빔 제어 머신 (low-energy electron beam control machine) 을 갖추고 있습니다. 이것은 균일 한 증착을 보장하는 데 도움이됩니다. MB2 - 720 은 전체 반도체 생산 라인에 통합될 수 있으며, 기판 적재 및 언로드 (unloading) 뿐만 아니라 여러 프로세스에 동일한 장비를 사용할 수 있습니다. 원자로 는 또한 쉽고 효과적 인 정비, 그리고 쉽게 교체 할 수 있는 부품 들 로 설계 되었다. 이 도구는 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 갖추고 있어 빠른 운영자 명령과 자동화된 프로세스 제어를 가능하게 합니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON MB2-720은 반도체 웨이퍼 처리에 좋고 신뢰할 수있는 원자로입니다. 제조 과정에서 높은 수준의 효율성, 균일성, 제어를 제공하여 반도체 제작 플랜트에 이상적인 선택이라 할 수 있습니다 (영문).